تعد قوارب الويفر SiC مقاس 6 بوصة من Semicorex من أدوات حمل الرقاقات الخزفية المهمة المستخدمة في حمل الرقاقات ونقلها ومعالجتها. تم تصميم قوارب Semicorex 6 بوصة من SiC، المصممة خصيصًا لحمل الرقائق مقاس 6 بوصات، بشكل مثالي مع ظروف العمل القاسية لعملية نشر أشباه الموصلات في درجات حرارة عالية، مما يوفر نتائج معالجة خالية من التلوث والأضرار.
عملية الانتشار هي تقنية المنشطات الأساسية في تصنيع الدوائر المتكاملة المتطورة. تقوم عملية الانتشار بإدخال عناصر الشوائب إلى ركائز السيليكون عند درجات حرارة عالية. يتيح التنظيم على مناطق النوع والتركيز والتوزيع لحاملات الشحنة الرئيسية داخل ركيزة الرقاقة معالجة دقيقة لموصلية الركائز ونوع التوصيل. باعتبارها المكونات التي لا غنى عنها المستخدمة في أنظمة أفران الانتشار الأفقية، تحافظ قوارب الويفر Semicorex مقاس 6 بوصة من SiC على أداء موثوق به في ظل دورات التصنيع الشامل طويلة المدى، وتستفيد من الجوانب التالية:
يستخدم Semicorex درجة أشباه الموصلات عالية النقاءكربيد السيليكونلتصنيع قواعد قوارب الويفر بطبقة كثيفة من CVD SiC على سطحها. بفضل هذه الإنشاءات، توفر قواربنا المصنوعة من رقائق السيليكون مقاس 6 بوصات خصائص متميزة على النحو التالي:
أ. النظافة القصوى وخالية من التلوث
ب. صلابة عالية وقوة عالية ومقاومة التآكل الفائقة
ج. مقاومة استثنائية لدرجات الحرارة العالية والثبات الحراري
د. مقاومة التآكل يمكن الاعتماد عليها
لتلبية احتياجات التشغيل للعملاء بشكل أفضل، تم استخدام جهاز Semicorex مقاس 6 بوصةقوارب رقاقة SiCدمج ترقيات هيكلية متعددة سهلة الاستخدام على النحو التالي:
ج: يسهل الإطار المجوف المفتوح التدفق المتساوي لغاز المعالجة بين الرقاقات لتحسين اتساق العملية عبر جميع الرقاقات.
ب. تم تصميم فتحات مناولة الشوكة ذات الجانب المزدوج باستخدام أنظمة مناولة المواد من أجل تحديد موضع الالتقاط والمكان بشكل ثابت ودقيق.
ج. يدعم إعداد فتحة الرقاقة 25 بت معالجة نشر الدُفعات لتعزيز كفاءة التصنيع بشكل كبير.
د. تسمح الزاوية المحسنة الخاصة لفتحات الرقاقة بإدخال واستخراج الرقاقة بسهولة لتقليل تلف الرقاقة أثناء التشغيل.
تم تجهيز Semicorex بفريق دعم فني محترف وخطوط إنتاج متكاملة متقدمة، مما يوفر القدرة التصنيعية الفائقة التالية:
ج. تتبنى Semicorex تقنية تشكيل الطباعة ثلاثية الأبعاد لإنتاج قوارب بسكويت الويفر مقاس 6 بوصات، وتقدم حلولًا مخصصة لهيكل قارب الويفر، والأبعاد، ونوع الفتحة، ومسافة الفتحة والتفاوتات بناءً على احتياجات العملاء.
ب. تدعم Semicorex إنتاج الطلبات التجريبية بكميات صغيرة والإنتاج الضخم لقواربنا المصنوعة من رقائق SiC مقاس 6 بوصات.
ج. تنعكس القدرة التصنيعية المتفوقة لشركة Semicorex أيضًا في مهلة الإنتاج الفعالة لدينا، والتي تتراوح عادةً من 35-60 يومًا، مما يقلل بشكل فعال دورات انتظار العملاء.