قوارب رقاقة الكوارتز المنصهرة

تعد قوارب Semicorex Fused Quartz Wafer Boats أدوات أساسية للتعامل مع الرقاقات المصممة لدعم الرقاقات المجمعة وتحديد موضعها ونقلها أثناء بيئات معالجة الرقاقات الصعبة ذات درجة الحرارة العالية والفراغ العالي والتآكل العالي. يؤدي اختيار Semicorex إلى تأمين مكونات الكوارتز المثالية لعمليات معالجة الرقاقات المتطورة مثل الانتشار والأكسدة والتليين وترسيب الأغشية الرقيقة.

إرسال استفسار

وصف المنتج

تعتبر قوارب Semicorex من رقائق الكوارتز المنصهرة عبارة عن مكونات هيكلية متخصصة تعمل بشكل أساسي من أجل محاذاة الرقائق وتحديد موضعها بدقة بالإضافة إلى دعم ونقل الرقائق المجمعة. يضمن استخدام قوارب رقاقة الكوارتز المنصهرة Semicorex وضع دفعات الرقائق بشكل صحيح والحفاظ على تباعد موحد لتحقيق تسخين موحد وضغط مستقر على الرقائق أثناء العمليات ذات درجات الحرارة العالية، وبالتالي تجنب العيوب بشكل فعال مثل انحراف الرقاقة والكسر وتلوث السطح وعدم اتساق العملية.

لماذا تختار سيميكوريكس؟

1. مزايا التصنيع القوية

سيميكوركسقوارب رقاقة الكوارتز المنصهرةيتم تصنيعها من خلال سلسلة من الآلات الدقيقة، مثل التلدين بدرجة حرارة عالية، والتقطيع الدقيق باستخدام الحاسب الآلي، وتلميع الوجه النهائي والتنظيف فائق النظافة. تتيح هذه العمليات الدقيقة لقواربنا المصنوعة من رقائق الكوارتز المنصهرة تقديم الأداء الممتاز التالي:

• أبعاد مُشكلة بدقة

• ضيق الأبعاد التسامح

• اتساق عرض الفتحة وعمقها وتباعدها

• سطح أملس وخالي من العيوب

• تصميم متكامل سلس

• التصنيع حسب الطلب، والتوافق المرن

2. نقاط القوة المادية التي يمكن الاعتماد عليها

قوارب سيميكوركس من رقائق الكوارتز المنصهرة مصنوعة من مواد عالية النقاء تم اختيارها بعنايةالكوارتز أشباه الموصلاتالمواد، واظهار خصائص المواد الرائعة المذكورة أدناه:

• نقاء المواد من الدرجة أشباه الموصلات- تلبية معايير تصنيع غرف الأبحاث المتطورة بشكل كامل.

• نسبة شوائب معدنية منخفضة للغاية— القضاء بشكل فعال على العيوب الناجمة عن التلوث غير المرغوب فيه بالشوائب.

• ثبات حراري فائق— تعمل بثبات في نطاق واسع من درجات الحرارة دون تشوه أو كسر.

• مقاومة موثوقة للتآكل— يتحمل بثبات بيئات التشغيل القاسية ذات التآكل العالي والأكسدة ذات درجات الحرارة العالية.

• لow-أداء إطلاق الغازات فراغ- منع إطلاق الشوائب بشكل كبير لضمان استقرار عملية أشباه الموصلات.

التطبيق الرئيسي

تعتبر قوارب رقاقة الكوارتز المنصهرة Semicorex من أدوات المعالجة الحرارية الموثوقة، والتي يتم تطبيقها على نطاق واسع في العمليات المتقدمة وخطوط الإنتاج الضخم في صناعة أشباه الموصلات، مثل:

• المنشطات الانتشارية في درجات الحرارة العالية

• عمليات الأكسدة والتلدين

• ترسيب الأغشية الرقيقة ذات الضغط المنخفض LPCVD

• المعالجة بدرجة حرارة عالية للركائز الإلكترونية البصرية

• تجفيف رقائق أشباه الموصلات دفعة واحدة

• مختبر اختبار فراغ درجة الحرارة العالية