تعد بوتقات الكوارتز المنصهرة عالية النقاء من Semicorex، والمصنوعة من مواد كوارتز عالية النقاء من فئة أشباه الموصلات، بمثابة الحاويات المهمة في تصنيع أشباه الموصلات المتطورة. إن بوتقات الكوارتز المنصهرة عالية النقاء من Semicorex هي حلول الكوارتز المثالية المصممة خصيصًا لعملية نمو السيليكون أحادي البلورة في الأفران أحادية البلورة ذات درجة الحرارة العالية.
يتم تركيب بوتقة الكوارتز عادة داخل بوتقة الجرافيت ويتم وضعها في المنطقة الأساسية للفرن أحادي البلورة ذو درجة الحرارة العالية. وهو يعمل مع مكونات المجال الحراري الأخرى، مثلسخان، الاسطوانة العزل، وأنبوب دليل، لتوفير بيئة مستقرة وخالية من التلوث لنمو بلورة واحدة عالي الجودة. باعتبارها الناقلات التي لا غنى عنها لعقد المواد الخام للسيليكون متعدد البلورات، فإن بوتقات الكوارتز المنصهرة عالية النقاء Semicorex يمكنها تحمل درجات الحرارة العالية الشديدة وظروف التشغيل عالية التآكل، وبالتالي ضمان التسخين الموحد لذوبان السيليكون ونمو البلورات المنظم.
يتم التحكم في محتواها الداخلي من الشوائب المعدنية غير المرغوب فيها مثل Al، Ca، Cr، Cu، Fe عند مستوى منخفض للغاية.
|
يتعقبالعناصر (الوحدة: جزء في المليون) |
|||||||||||||
| شفرة |
معايير |
آل |
كاليفورنيا | كر |
النحاس | الحديد | K | لي | ملغ | من | نا | تي | زر |
| PQ181E |
عادي |
13.0 |
0.50 | <0.05 | <0.05 |
0.10 | 0.10 | 0.30 | 0.05 | 0.05 | 0.10 | 1.30 | 1.00 |
| الحد الأقصى |
19.0 | 1.00 | 0.10 | 0.10 | 0.50 | 1.00 | 1.00 | 0.20 | 0.20 | 1.00 | 2.00 | 2.00 | |
| PQ181EH |
عادي |
8.0 | 0.60 | <0.05 |
<0.01 | 0.10 | 0.10 | 0.20 | 0.05 | 0.05 | 0.10 | 1.30 | 1.00 |
| الحد الأقصى |
10.0 | 1.00 | 0.10 | <0.10 | 0.50 | 0.50 | 0.50 | 0.20 | 0.20 | 0.50 | 2.00 | 2.00 | |
يمكن أن تصل درجة حرارة التشغيل القصوى المستمرة إلى 1100 درجة مئوية.
تفاعل منخفض مع ذوبان Si ولا يتم إنتاج منتجات كيميائية ثانوية.
تتراوح أقطارها من 14 بوصة إلى 36 بوصة، ويتم دعم التخصيص.
تحتوي الطبقة الخارجية المعتمة على فقاعات متعددة للتسخين الموحد، وتحتوي الطبقة الداخلية الشفافة على محتوى فقاعات منخفض لمنع العيوب البلورية.
Semicorex منصهر عالي النقاءبوتقات الكوارتزتتميز بأداء استثنائي ومتانة يمكن الاعتماد عليها وسعر فعال من حيث التكلفة ويتم تطبيقها على نطاق واسع في المجالات التالية.
يمكن استخدام بوتقات الكوارتز المنصهرة عالية النقاء Semicorex لإنتاج السيليكون عالي الجودة الذي يلبي المتطلبات الصارمة للرقائق المتطورة من حيث النقاء وكثافة العيوب والخواص الكهربائية.
يمكن أيضًا استخدام بوتقات الكوارتز المنصهرة عالية النقاء من Semicorex لإنتاج رقائق السيليكون أحادية البلورة من الدرجة الشمسية، مما يساعد على تحسين كفاءة التحويل الكهروضوئي للخلايا الشمسية.