قوارب الجرافيت PECVD

تعمل قوارب الجرافيت Semicorex PECVD، ذات التجانس الحراري الفائق والمقاومة الكيميائية، على تحسين اتساق ترسيب الأفلام في معالجة أشباه الموصلات ذات درجات الحرارة العالية. توفر شركة Semicorex مكونات أشباه موصلات مخصصة وعالية الأداء للعملاء العالميين الذين يطالبون بضمان الجودة والموثوقية الصارمة.*

إرسال استفسار

وصف المنتج

سيميكوركسقوارب الجرافيت PECVDهي تركيبات أساسية عالية النقاء مصممة لأنظمة ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما، وتستخدم على نطاق واسع في تصنيع أجهزة أشباه الموصلات وتصنيع الخلايا الكهروضوئية. تم بناء هذه القوارب من الجرافيت الخواص عالي الكثافة وغالبًا ما يتم تعزيزها بطبقة واقية من كربيد السيليكون لترسيب البخار الكيميائي (CVD-SiC)، وتوفر توصيلًا حراريًا استثنائيًا، ومقاومة فائقة لغازات العمليات التفاعلية، والحد الأدنى من توليد الجسيمات. من خلال الحفاظ على توزيع موحد لدرجة الحرارة عبر منطقة الترسيب بأكملها،قوارب الجرافيت PECVDضمان توحيد سمك الفيلم بشكل ممتاز واستقرار الخاصية الكهربائية لطبقات الأغشية الرقيقة. يمنع تكوين المواد المتقدم هذا انتشار الشوائب المعدنية في ركيزة الرقاقة، مما يحسن بشكل كبير إنتاجية الجهاز والموثوقية التشغيلية على المدى الطويل في بيئات الإنتاج كثيرة المتطلبات.

من خلال علوم المواد المتقدمة والتصنيع الدقيق باستخدام الحاسب الآلي، تعمل هذه المكونات المتخصصة على تقليل تكرار الصيانة ووقت التوقف عن العمل في خطوط إنتاج الإلكترونيات الدقيقة الهامة.

1. الدور الأساسي لقوارب الجرافيت PECVD في ترسيب الأغشية الرقيقة

يعتمد ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما بشكل كبير على تركيبات حاملة مستقرة لوضع ودعم الركائز تحت بيئات الغاز التفاعلية منخفضة الضغط. يؤثر تصميم الناقل بشكل مباشر على اقتران البلازما وديناميكيات تدفق الغاز داخل غرفة التفاعل.

تضمن حلولنا الهندسية تباعدًا دقيقًا للرقائق والاحتفاظ الآمن بها، مما يقلل من مناطق استبعاد الحواف ويمنع إزاحة الركيزة أثناء تطهير الغاز عالي السرعة. علاوة على ذلك، فإن الخمول الكيميائي الاستثنائي لديناكربيد السيليكون (SiC)تعمل طبقات حماية السطح على حماية مصفوفة الجرافيت الأساسية من بلازما التنظيف القوية المعتمدة على الفلور أو الكلور، مما يزيد من عمر المكونات بشكل كبير.

2. خصائص المواد والمواصفات الفنية

لتلبية متطلبات النقاء الصارمة لمرافق التصنيع الحديثة، تقوم شركة Semicorex بتصنيع كل منهاقوارب الجرافيت PECVDوحدة باستخدام فائقة النقاءالمواد الخام الجرافيتمع تقليل محتويات الرماد إلى أقل من 5 جزء في المليون.

خاصية المواد	المواصفات النموذجية	المنفعة التشغيلية
المواد الأساسية	الحبوب الدقيقةالجرافيت متساوي القياس	قوة ميكانيكية عالية ومقاومة الصدمات الحرارية.
نوع الطلاء	مخصصة، الأمراض القلبية الوعائية كربيد	إغلاق كامل ضد نفاذية الغاز والهجوم الكيميائي.
الكثافة الظاهرية	> 1.85 جم/سم3	مسامية منخفضة وتعزيز السلامة الهيكلية.
معامل التمدد الحراري	4.5 × 10⁻⁶ / كلفن (20-1000 درجة مئوية)	يمنع تزييفها والتعب الحراري تحت ركوب الدراجات السريعة.
نقاء العنصر	> 99.999% (درجة نقاء عالية)	يزيل مخاطر التلوث المتبادل أثناء نمو الفيلم.