تم تصميم أنابيب فرن الكوارتز Semicorex، وهي أجزاء الكوارتز عالية الأداء، خصيصًا لتوفير بيئات تشغيل نظيفة ومستقرة ويمكن التحكم فيها لعمليات المعالجة الحرارية لأشباه الموصلات والخلايا الكهروضوئية المتطورة. اختيار Semicorex، اختيار حلول الكوارتز الموثوقة.
بمثابة مكونات الغرفة الأساسية،أنبوب فرن الكوارتزتُستخدم على نطاق واسع في المعدات ذات درجة الحرارة العالية، بما في ذلك أفران الأكسدة وأفران الانتشار وأفران التلدين وأنظمة ترسيب الأغشية الرقيقة. إنهم قادرون على دعم الرقائق بشكل ثابت وحماية التجويف الداخلي من التدخل الخارجي. تتيح أنابيب فرن الكوارتز، المزودة بمداخل الغاز، تنظيمًا دقيقًا لغاز المعالجة داخل الأنبوب، مما يخلق جو تفاعل مستقرًا ويمكن التحكم فيه من أجل المعالجة الحرارية للرقاقة عالية الدقة. لهذا السبب، فإن اختيار أنبوب فرن الكوارتز المناسب سيكون له تأثير مباشر على إنتاجية الإنتاج وكفاءة المعالجة لتصنيع رقائق أشباه الموصلات.
تقوم شركة Semicorex بإنتاج أنابيب أفران الكوارتز الخاصة بنا من خلال اعتماد الدرجة الكهروضوئية الممتازة أوالكوارتز أشباه الموصلاتالمواد الخام، مما يمنحها الأداء الممتاز المدرج على النحو التالي:
تتميز أنابيب فرن الكوارتز Semicorex بنقاء عالي للغاية مع شوائب معدنية منخفضة للغاية مثل Na وK وFe، مما يقلل بشكل فعال من تلوث الرقاقة الناتج عن ترسيب أيونات الشوائب أثناء التشغيل في درجات الحرارة العالية.
بفضل المقاومة الفائقة لدرجات الحرارة العالية ومقاومة الصدمات الحرارية، يمكن لأنابيب فرن الكوارتز Semicorex أن تتحمل الدورات الحرارية الشديدة في خطوط إنتاج أشباه الموصلات والخلايا الكهروضوئية.
بالكاد تتفاعل أنابيب فرن الكوارتز Semicorex مع معظم الأحماض والقلويات والغازات المعالجة في درجات حرارة الغرفة ودرجات الحرارة المرتفعة، وتتحمل بشكل كبير التآكل الكيميائي وتمنع مخاطر التلوث الناتجة عن مواد الأنبوب.
تضع Semicorex دائمًا احتياجات العملاء في المقام الأول. تقدم Semicorex خدمات تصنيع مخصصة بعناية لضمان التوافق التام مع معدات العملاء. استنادًا إلى الرسومات الفنية للعملاء ومعايير الفرن، يمكن لـ Semicorex تصنيع أنابيب فرن الكوارتز خصيصًا، بما يغطي نقاء المواد، وقطر الأنبوب، والطول الإجمالي، وسمك الجدار، ووصلات الحافة، والمقاطع الهيكلية، ومعالجة السطح.
يتم تطبيق أنابيب فرن الكوارتز Semicorex على نطاق واسع للمعالجة الحرارية للرقاقات لتنفيذ إجراءات أكسدة الرقاقات، وتعاطي المنشطات، والتليين، وترسيب الأغشية الرقيقة.
يمكن أن تكون أنابيب فرن الكوارتز Semicorex بمثابة الأجزاء الأساسية لأفران الانتشار المستخدمة لنشر وصلات رقاقة السيليكون في تصنيع الخلايا الشمسية.