أنابيب الفرن الداخلية الكوارتز

يتم وضع أنابيب الفرن الداخلية الكوارتز Semicorex بشكل شائع داخل أنابيب الفرن الخارجية في أنظمة أفران المعالجة وتعمل على عزل البيئة الخارجية عن منطقة معالجة الرقاقات، وموازنة التوزيع الحراري داخل الفرن، وتمكين توجيه تدفق الغاز الطبقي بالإضافة إلى استبدال غاز العملية بسرعة. تم تصميمها لحل نقاط الألم في العملية، مثل تعاطي الرقائق غير المتساوية، وانحرافات ترسيب الأغشية الرقيقة وضعف تناسق الأكسدة الناتج عن تدفق الغاز غير الموحد، والاختلافات المفرطة في درجات الحرارة وأجواء الفرن المضطربة، تلبي أنابيب الفرن الداخلية الكوارتز Semicorex تمامًا متطلبات العملية الصارمة لمعالجة الرقاقات الدقيقة.

لماذا تختار سيميكوريكس؟

1. مزايا التصنيع

أنابيب الفرن الداخلية الكوارتز Semicorex مصنوعة بدقة منالكوارتز على مستوى أشباه الموصلاتمن خلال سلسلة من المعالجة، بما في ذلك التلدين لتخفيف الضغط بدرجة الحرارة العالية، ورسم الأنبوب المتكامل الدقيق، والمعايرة الدقيقة لأبعاد الأنبوب، وطحن الجدار الموحد، وتخميل نهاية الأنبوب وتلميعه، بالإضافة إلى التنظيف الخالي من الغبار. تتميز أنابيب الفرن الداخلية المصنوعة من الكوارتز بالخصائص المميزة التالية:

• أبعاد المكونات الدقيقة

• مراقبة صارمة للتسامح

• سمك الجدار موحد

• التكامل السلس والسلس

• خالي من الفقاعات والنتوءات والضغوط الداخلية

• هيكل تدفق الغاز دون عائق

• نسبة تلوث منخفضة للغاية بالجسيمات

• خيار مخصص مرن

---

2. قوة الأداء المادي

مصنعة من مواد خام فائقة النقاء، Semicorexأنابيب الفرن الداخلية الكوارتزتقديم العديد من العروض العقارية الممتازة المفصلة على النحو التالي:

• نقاء المواد فائق الجودة—— تجنب التلوث بالشوائب المعدنية غير المرغوب فيها.

• مقاومة فائقة لدرجات الحرارة المرتفعة—— تلبية متطلبات عملية المعالجة الحرارية بشكل كامل.

• استقرار حراري موثوق—— مناسبة لدورات التدفئة والتبريد المستمرة.

• مقاومة قوية للتآكل—— مقاومة ثابتة للتآكل الكيميائي وقصف البلازما وتآكل الغاز العملي.

---

التطبيقات الرئيسية

تعتبر أنابيب الفرن الداخلية الكوارتز Semicorex مناسبة تمامًا للإنتاج الضخم عالي المستوى لرقائق أشباه الموصلات ويتم تطبيقها على نطاق واسع في أفران الانتشار الرأسي أو الأفقي، وأفران الأكسدة ذات درجة الحرارة العالية، وأفران التلدين الفراغي، وأفران ترسيب LPCVD ومعدات المعالجة الحرارية الأنبوبية لأشباه الموصلات.

الأسئلة المتداولة

1. ما هي سيناريوهات التشغيل التي يجب أن يتجنبها هذا المنتج؟

تجنب الغمر لفترة طويلة في درجة حرارة عالية HF، وتآكل CPA الساخن، والتأثير الثقيل، والانحناء والضغط.

2. كيفية صيانة وتنظيف هذا المنتج؟

ممنوع منعا باتا كشط أو طحن جدار الأنبوب بأدوات التنظيف الصلبة؛ قبل التثبيت وإعادة الاستخدام، يرجى التنظيف جيدًا باستخدام محلول عالي النقاء ممزوج برقاقة فائقة النقاء.

3. كيف يمكنني الحصول على حلول التصنيع المخصصة؟

أرسل لنا الرسم التفصيلي ومتطلبات المواد وظروف التشغيل إلى عنوان البريد الإلكتروني الموجود على موقعنا.