Aixtron 1x4 "مستقبلات الجرافيت المطلية بـ SiC

يتم تحقيق النمو الفوقي للرقائق من خلال MOCVD (ترسيب البخار الكيميائي المعدني العضوي). يتم تسليم الغازات فائقة النقاء بجرعات محددة إلى غرفة التفاعل؛ عند درجات الحرارة المرتفعة، تحدث تفاعلات كيميائية، مما يسمح للأغشية الذرية الرقيقة بالترسب على ركائز الرقاقة وبناء هياكل فوقية مركبة لأشباه الموصلات. وباعتبارها الأجزاء الأساسية التي لا يمكن استبدالها لأنظمة MOCVD، فإن أداء مستقبلات الجرافيت المطلية بـ SiC لها تأثير حاسم على سرعة النمو الفوقي وجودة الرقاقة النهائية.

تتبنى Semicorex الجرافيت المتوازن عالي النقاء كمواد أساسية لمستقبلات الجرافيت المطلية بـ SiC 1x4 بوصة وتطبق طبقة واقية كثيفة من كربيد السيليكون على سطحها، مما يجعلها بمثابة خيارات مثالية لبيئات العمليات الفوقية المتطلبة.

---

قواعد جرافيت متوازنة الجودة

تم تصنيع مستقبلات الجرافيت المطلية بـ SiC مقاس 1x4 بوصة من Aixtron بدقة من الجرافيت المتوازن بدرجة أشباه الموصلات. تتميز مادة الجرافيت هذه بحجم حبيبات دقيق وخصائص داخلية موحدة، وتوفر الأداء الممتاز التالي، مما يتيح Aixtron 1x4"مستقبِل الجرافيت المطلي بـ SiCلتوفير قاعدة حاملة وتسخين ثابتة أثناء عمليات تنضيد الرقاقة.

1. نقاء المواد عالي جدًا

2. مقاومة قوية للصدمات الحرارية

3.  مقاومة استثنائية لدرجات الحرارة العالية

4. ثبات كيميائي موثوق

5. الموصلية الحرارية الفائقة

6. خصائص الخواص والأداء المتسق في كل الاتجاه

---

طلاء كثيف CVD SIC

من أجل تجنب تلوث غرفة التفاعل من غير المطليالجرافيتالقواعد وإطالة عمر خدمة مستقبلات الرقاقة، تعتمد شركة Semicorex تقنية ترسيب البخار الكيميائي لتغطية طبقة واقية موحدة من SiC على سطح القاعدة، مما يوفر أداءً فائقًا مدرجًا أدناه:

1. تعزيز مقاومة التآكل

الكثيفةطلاء CVD SiCتعمل مستقبلات الجرافيت المطلية بـ SiC مقاس 1 × 4 بوصة من Aixtron كحاجز وقائي، والذي يمكن أن يمنع قاعدة الجرافيت من التآكل في الظروف الفوقي الصارمة.

2. الترابط القوي بين الوجهين

يتم ربط طلاء CVD SiC بإحكام بقاعدة الجرافيت ولن يتشقق أو يتقشر بسهولة حتى في ظل التدوير الحراري المتكرر أثناء العملية الفوقي.

3. عمر الخدمة المطول

يمكن لطلاء CVD SiC حماية قاعدة الجرافيت من السحق والتآكل أثناء النمو الفوقي، وبالتالي إطالة عمر خدمة مستقبلات الجرافيت المطلية بـ SiC 1x4 بوصة بشكل كبير.

خدمة مدروسة والتسليم السريع

تتميز Semicorex بفريق ذو خبرة جيدة وجاهز للتعامل بسرعة مع استفسارات العملاء وتقديم الدعم الفني الاحترافي. بالاعتماد على سير عمل التصنيع المتكامل لدينا، توفر Semicorex مهلة إنتاجية فعالة لمستقبلات الجرافيت المطلية بـ SiC 1x4 بوصة من Aixtron عادةً في غضون 45-60 يومًا، مما يقلل بشكل فعال من فترة انتظار العملاء والجدول الزمني للمشروع.