بوتقات الجرافيت المكونة من ثلاث قطع من Semicorex عبارة عن حاويات جرافيت مقسمة عالية الأداء مصممة خصيصًا لعمليات نمو السيليكون أحادي البلورة. مثالية للمعالجة الحرارية لأشباه الموصلات المتطورة، يمكن لبوتقة الجرافيت المكونة من ثلاث قطع من Semicorex أن تدعم بشكل موثوق بوتقة الكوارتز وموادها الداخلية لتحقيق النمو المتحكم فيه للهياكل أحادية البلورة.
يتم وضع بوتقة الجرافيت بشكل شائع على منصة الدعم المركزية لفرن الكريستال الفردي ويتم وضعها بين سخان الجرافيت وبوتقة الكوارتز في بلورة مفردةالسيليكونعملية النمو. يمكنها دعم بوتقة الكوارتز ومواد السيليكون المنصهرة بشكل ثابت وتوصيل الحرارة باستمرار إلى بوتقة الكوارتز لتسخين وصهر البولي سيليكون أثناء هذه العملية.
تستخدم Semicorex مادة الجرافيت عالية النقاء لتصنيع بوتقات الجرافيت المكونة من ثلاث قطع، ويمنح اختيار المواد الخام عالي المستوى هذا البوتقات بأداء إجمالي ممتاز مدرج على النحو التالي.
أ. نظافة فائقة
يعد التلوث بالشوائب خطراً بالغ الأهمية يضعف البنية الشبكية لبلورات السيليكون أثناء التصنيع. يمكن أن يؤدي استخدام مواد الجرافيت عالية النقاء من درجة أشباه الموصلات إلى تقليل مخاطر التلوث الناجمة عن ترسيب الشوائب من بوتقات الجرافيت المكونة من ثلاث قطع في نمو السيليكون أحادي البلورة.
ب. قدرة فائقة على الإدارة الحرارية
تتيح المقاومة الحرارية لبوتقات الجرافيت المكونة من ثلاث قطع من Semicorex أداءً مستقرًا في درجات الحرارة المرتفعة، مما يوفر دعمًا قويًا لنمو السيليكون أحادي البلورة. بفضل موصليتها الحرارية الرائعة، يمكن لبوتقات الجرافيت المكونة من ثلاث قطع من Semicorex أن تحقق ذوبانًا فعالاً ومتسقًا للبولي سيليكون.
ج. استقرار كيميائي موثوق
بفضل خصائصها الكيميائية المستقرة، يمكن لبوتقات الجرافيت Semicorex المكونة من ثلاث قطع أن تقاوم التآكل بشكل فعال أثناء نمو البلورة الفردية وتمنع التلوث غير المرغوب فيه الناتج عن منتجات التفاعل الثانوية. توفر Semicorex أيضًا خيارات طلاء TaC وSiC لعملائنا، مما يجعل البوتقات مناسبة لظروف التشغيل عالية التآكل.
سيميكوركس ثلاث قطعبوتقات الجرافيتيتم بناؤها في ثلاثة أجزاء وتتصل بأجزاء مخصصة. يوفر هذا التصميم نقاط قوة بارزة مقارنة ببوتقات الجرافيت التقليدية المكونة من قطعة واحدة:
أ.يعمل الهيكل المنقسم ثلاثي البتلات للبوتقات على حل الإزعاج الناتج عن التعامل مع المواد في البوتقات التقليدية المصنوعة من الجرافيت المكونة من قطعة واحدة، مما يوفر وقت التشغيل بشكل كبير.
ب.تدعم البوتقات الجرافيتية المكونة من ثلاث قطع الاستبدال بقطعة واحدة، مما يقلل بشكل فعال من تكاليف الصيانة والاستبدال للمستخدمين.
ج.يمكن للهيكل المنقسم ثلاثي البتلات للبوتقات أن يطلق الضغط الحراري الناتج عن تقلبات درجات الحرارة لتجنب الخلل الهيكلي، وبالتالي تقليل مخاطر التشقق بشكل كبير.