معلومات عنا

شركة Semicorex Advanced Material Technology Co. ، Ltd هي مورد رائد عالي الجودة لمنتجات طلاء SiC بترسيب البخار الكيميائي (CVD) في الصين. نحن ملتزمون بالبحث والتطوير لمواد أشباه الموصلات المبتكرة ، وخاصة تكنولوجيا طلاء SiC وتطبيقها في صناعة أشباه الموصلات. نحن نقدم مجموعة واسعة من المنتجات عالية الجودة مثلمستشعرات الجرافيت المطلية SiC, كربيد السيليكون المطلي, المستشعرات فوق البنفسجية العميقة, سخانات الركيزة CVD, ناقلات رقاقة SiC CVD, قوارب بسكويت الويفر، إلى جانبمكونات أشباه الموصلاتومنتجات سيراميك كربيد السيليكون.

يحتوي الفيلم الرقيق SiC المستخدم في epitaxy رقاقة LED والركائز البلورية أحادية السيليكون على طور تكعيبي له نفس بنية الشبكة البلورية مثل الماس ، ويحتل المرتبة الثانية بعد الماس في الصلابة. SiC عبارة عن مادة أشباه موصلات ذات فجوة عريضة معترف بها على نطاق واسع مع إمكانات هائلة للتطبيق في صناعة إلكترونيات أشباه الموصلات ، ولها خصائص فيزيائية وكيميائية ممتازة ، مثل الموصلية الحرارية العالية ، ومعامل التمدد الحراري المنخفض ، ومقاومة درجات الحرارة العالية ومقاومة التآكل.

في إنتاج الأجهزة الإلكترونية ، يجب أن تمر الرقائق بعدة خطوات ، بما في ذلك epitaxy السيليكون ، حيث يتم حمل الرقاقات على مستشعرات الجرافيت. تلعب جودة وخصائص المستجيبات دورًا مهمًا في جودة الطبقة فوق المحورية للرقاقة. تعد قاعدة الجرافيت أحد المكونات الأساسية لمعدات MOCVD ، وهي حامل وسخان الركيزة. تلعب معلمات الأداء المستقرة حرارياً مثل التوحيد الحراري دورًا حاسمًا في جودة نمو المواد الفوقية ، وتحدد بشكل مباشر متوسط ​​التوحيد والنقاء.

في Semicorex ، نستخدم CVD لتصنيع أغشية β-SiC كثيفة على الجرافيت المتوازنة عالي القوة ، والذي يتميز بدرجة نقاء أعلى مقارنة بمواد SiC الملبدة. منتجاتنا مثل مستشعرات الجرافيت المطلية SiC تمنح قاعدة الجرافيت خصائص خاصة ، مما يجعل سطح قاعدة الجرافيت مضغوطًا وسلسًا وغير مسامي ومقاومًا للحرارة الفائقة وتوحيدًا حراريًا ومقاومًا للتآكل ومقاومًا للأكسدة.

اكتسبت تقنية طلاء SiC استخدامًا واسعًا لا سيما في نمو ناقلات LED الفوقية و epitaxy الكريستال Si المفردة. مع النمو السريع لصناعة أشباه الموصلات ، زاد الطلب على تكنولوجيا طلاء SiC ومنتجاته بشكل كبير. منتجات طلاء SiC لدينا لديها مجموعة واسعة من التطبيقات في الفضاء ، والصناعة الكهروضوئية ، والطاقة النووية ، والسكك الحديدية عالية السرعة ، والسيارات ، وغيرها من الصناعات.

تطبيق المنتج

LED IC epitaxy

بلورة أحادية من السيليكون

ناقلات رقاقة RTP / TRA

حفر ICP / PSS

حفر البلازما

epitaxy SiC

أحادي البلورية السليكون epitaxy

epitaxy قاعدة السيليكون GaN

epitaxy الأشعة فوق البنفسجية العميقة

حفر أشباه الموصلات

الصناعة الكهروضوئية

نظام CVD فوق المحور SiC

معدات نمو فيلم الفوق SiC

مفاعل MOCVD

نظام MOCVD

معدات CVD

أنظمة PECVD

أنظمة LPE

أنظمة Aixtron

أنظمة نوفلير

أنظمة TEL CVD

أنظمة Vecco

أنظمة TSI