تُستخدم أغطية الغرف لإنشاء بيئة نظيفة وخاملة ومحمية في غرف الترسيب، بحيث تتعرض للبلازما ودرجة الحرارة المرتفعة أثناء عمليات الترسيب أو الحفر. أغطية حجرة سيميكوركس عبارة عن مكونات سيراميك متينة مطلية بكربيد السيليكون باستخدام طريقة ترسيب البخار الكيميائي (CVD)، وهي رائعة لتحمل هذه البيئات الصعبة.
Semicorex SIC LID هو مكون كربيد السيليكون عالي النقاء مصمم لبيئات معالجة أشباه الموصلات المتطرفة. اختيار semicorex يعني ضمان جودة المواد غير المتصاعدة ، والهندسة الدقيقة ، والحلول المخصصة التي تثق بها الشركات المصنعة لأشباه الموصلات الرائدة في جميع أنحاء العالم.
اقرأ أكثرإرسال استفسار