تُستخدم أغطية الغرف لإنشاء بيئة نظيفة وخاملة ومحمية في غرف الترسيب، بحيث تتعرض للبلازما ودرجة الحرارة المرتفعة أثناء عمليات الترسيب أو الحفر. أغطية حجرة سيميكوركس عبارة عن مكونات سيراميك متينة مطلية بكربيد السيليكون باستخدام طريقة ترسيب البخار الكيميائي (CVD)، وهي رائعة لتحمل هذه البيئات الصعبة.