رأس الدش SiC (كربيد السيليكون) هو مكون متخصص يستخدم في العمليات الصناعية المختلفة، خاصة في صناعة تصنيع أشباه الموصلات. إنه مصمم لتوزيع وتوصيل غازات المعالجة بشكل متساوٍ ودقيق أثناء ترسيب البخار الكيميائي (CVD) وعمليات النمو الفوقي.
رأس الدش على شكل قرص أو لوحة بها فتحات أو فوهات متعددة موزعة بالتساوي على سطحها. تعمل هذه الثقوب بمثابة منافذ لغازات العملية، مما يسمح بحقنها في غرفة العملية أو غرفة التفاعل. يمكن أن يختلف حجم الثقوب وشكلها وتوزيعها اعتمادًا على التطبيق المحدد ومتطلبات العملية.
إحدى المزايا الرئيسية لاستخدام رأس الدش SiC هي التوصيل الحراري الممتاز. تتيح هذه الخاصية نقل الحرارة بكفاءة وتوزيع موحد لدرجة الحرارة عبر سطح رأس الدش، مما يمنع البقع الساخنة ويضمن ظروف معالجة متسقة. كما تسمح التوصيل الحراري المعزز بالتبريد السريع لرأس الدش بعد العملية، مما يقلل من وقت التوقف عن العمل ويزيد من الإنتاجية الإجمالية.
تتميز رؤوس الدش المصنوعة من السيليكون بأنها متينة للغاية ومقاومة للتآكل، حتى في ظل التعرض لفترات طويلة للغازات المسببة للتآكل ودرجات الحرارة المرتفعة. يُترجم طول العمر هذا إلى فترات صيانة ممتدة وتقليل وقت توقف المعدات، مما يؤدي إلى توفير التكاليف وتحسين موثوقية العملية.
بالإضافة إلى متانتها، توفر رؤوس الدش المصنوعة من كربيد السيليكون قدرات ممتازة لتوزيع الغاز. تضمن أنماط وتكوينات الفتحات المصممة بدقة تدفق الغاز وتوزيعه بشكل موحد على سطح الركيزة، مما يعزز ترسيب الفيلم المتسق وتحسين أداء الجهاز. يساعد التوزيع الموحد للغاز أيضًا على تقليل الاختلافات في سماكة الفيلم وتركيبه والمعلمات الهامة الأخرى، مما يساهم في تحسين التحكم في العملية والإنتاجية.
توفر Semicorex رأس دش مصنوع من كربيد السيليكون الملبد ذو مقاومة منخفضة. لدينا القدرة على تصميم وتوريد مواد السيراميك المتقدمة باستخدام مجموعة متنوعة من القدرات الفريدة.
يعد رأس الدش المعدني، المعروف باسم لوحة توزيع الغاز أو رأس دش الغاز، مكونًا حاسمًا يستخدم على نطاق واسع في عمليات تصنيع أشباه الموصلات. وتتمثل وظيفته الأساسية في توزيع الغازات بالتساوي في غرفة التفاعل، مما يضمن أن مواد أشباه الموصلات تتلامس بشكل موحد مع العملية الغازات.**
اقرأ أكثرإرسال استفسار