رأس دش الصين مصنعون وموردون ومصنعون

رأس الدش SiC (كربيد السيليكون) هو مكون متخصص يستخدم في العمليات الصناعية المختلفة ، لا سيما في صناعة تصنيع أشباه الموصلات. إنه مصمم لتوزيع غازات المعالجة وتسليمها بالتساوي والدقة أثناء عمليات ترسيب البخار الكيميائي (CVD) وعمليات النمو فوق المحور.

يتشكل رأس الدش على شكل قرص أو لوح به ثقوب أو فوهات متعددة موزعة بالتساوي على سطحه. تعمل هذه الثقوب كمنافذ لغازات العملية ، مما يسمح بحقنها في غرفة العملية أو غرفة التفاعل. يمكن أن يختلف حجم الثقوب وشكلها وتوزيعها اعتمادًا على متطلبات التطبيق والعملية المحددة.

إحدى المزايا الرئيسية لاستخدام رأس دش SiC هي التوصيل الحراري الممتاز. تتيح هذه الخاصية نقلًا فعالًا للحرارة وتوزيعًا منتظمًا لدرجة الحرارة عبر سطح الدش ، مما يمنع النقاط الساخنة ويضمن ظروف عملية متسقة. تسمح الموصلية الحرارية المحسنة أيضًا بالتبريد السريع لرأس الدش بعد العملية ، وتقليل وقت التوقف عن العمل وزيادة الإنتاجية الإجمالية.

رؤوس الدش المصنوعة من SiC متينة للغاية ومقاومة للتآكل والتمزق ، حتى في ظل التعرض الطويل للغازات المسببة للتآكل ودرجات الحرارة المرتفعة. يُترجم طول العمر هذا إلى فترات صيانة ممتدة وتقليل وقت تعطل المعدات ، مما يؤدي إلى توفير التكاليف وتحسين موثوقية العملية.

بالإضافة إلى متانتها ، توفر رؤوس الدش المصنوعة من SiC إمكانات ممتازة لتوزيع الغاز. تضمن أنماط الفتحات والتكوينات المصممة بدقة تدفق الغاز المنتظم وتوزيعه على سطح الركيزة ، مما يعزز ترسيب الفيلم المتسق وتحسين أداء الجهاز. يساعد التوزيع المنتظم للغاز أيضًا على تقليل الاختلافات في سماكة الفيلم وتكوينه والمعلمات الهامة الأخرى ، مما يساهم في تحسين التحكم في العملية والعائد.

تقدم Semicorex رأس دش كربيد السيليكون متكلس منخفض المقاومة. لدينا القدرة على تصميم وتوريد مواد خزفية متقدمة باستخدام مجموعة متنوعة من القدرات الفريدة.