فرن النمو البلوري هو المعدات الأساسية لنمو بلورات كربيد السيليكون. إنه مشابه لفرن النمو البلوري في السيليكون التقليدي. بنية الفرن ليست معقدة للغاية. يتكون بشكل أساسي من جسم الفرن ، ونظام التدفئة ، وآلية نقل الملف ، واكتساب الفراغ والقياس ، ونظام مسار الغاز ، ونظام التبريد ، ونظام التحكم ، وما إلى ذل......
اقرأ أكثر