تم تصميم حلقة التركيز أو حلقات الحافة لتحسين تجانس الحفر حول حافة الرقاقة أو محيطها.
حلقات التركيز Semicorex هي عبارة عن مطلية بكربيد السيليكون باستخدام ترسيب البخار الكيميائي (CVD) مما يوفر مقاومة فائقة للحرارة، وحتى تجانسًا حراريًا لسماكة ومقاومة طبقة epi المتسقة، ومقاومة كيميائية متينة، تم تصميمها لتحمل البيئات القاسية في حفر البلازما أو عملية الحفر الجاف. .
حلقة التركيز Semicorex SiC عبارة عن مكون حلقة من كربيد السيليكون عالي النقاء مصمم لتحسين توزيع البلازما وتوحيد عملية الرقاقة في تصنيع أشباه الموصلات. إن اختيار Semicorex يعني ضمان الجودة المتسقة، وهندسة المواد المتقدمة، والأداء الموثوق الذي تثق به شركات تصنيع أشباه الموصلات الرائدة في جميع أنحاء العالم.*
اقرأ أكثرإرسال استفسار