تم تصميم حلقة التركيز أو حلقات الحافة لتحسين تجانس الحفر حول حافة الرقاقة أو محيطها.
حلقات التركيز Semicorex هي عبارة عن مطلية بكربيد السيليكون باستخدام ترسيب البخار الكيميائي (CVD) مما يوفر مقاومة فائقة للحرارة، وحتى تجانسًا حراريًا لسماكة ومقاومة طبقة epi المتسقة، ومقاومة كيميائية متينة، تم تصميمها لتحمل البيئات القاسية في حفر البلازما أو عملية الحفر الجاف. .