أثناء المعالجة، يجب تسخين رقائق أشباه الموصلات في أفران متخصصة. يتكون المفاعل من أنابيب أسطوانية ممدودة، حيث يتم وضع الرقاقات على قوارب الرقاقات على مسافة محددة مسبقًا وعلى مسافة متساوية. يتم تصنيع الأجهزة الأخرى المستخدمة في معالجة الرقاقات من مادة مثل كربيد السيليكون (SiC).
يتم وضع القوارب، المحملة بمجموعة من الرقائق المراد معالجتها، على مجاذيف طويلة ذات ناتئ، والتي يمكن من خلالها إدخالها وسحبها من الأفران والمفاعلات الأنبوبية. تشتمل المجاذيف على قسم حامل مسطح يمكن وضع قارب واحد أو أكثر عليه، ومقبض طويل، يتم وضعه في أحد طرفي قسم الناقل المسطح، والذي يمكن من خلاله التعامل مع المجداف.
يوصى باستخدام المجداف الكابولي باستخدام كربيد السيليكون المعاد بلورته مع طبقة رقيقة من CVD SiC، وهي عالية النقاء وأفضل خيار للمكونات في معالجة أشباه الموصلات.
يمكن لـ Semicorex تقديم خدمة مخصصة وفقًا للرسومات وبيئة العمل.