ظرف فراغ Al2O3

تطبيقات في تصنيع أشباه الموصلات

يعتبر Semicorex Al2O3 Vacuum Chuck أداة متعددة الاستخدامات تستخدم عبر مراحل متعددة من إنتاج أشباه الموصلات:

التخفيف: أثناء عملية تخفيف الرقاقة، يوفر ظرف التفريغ Al2O3 دعمًا ثابتًا وموحدًا، مما يضمن تقليل الركيزة بدقة عالية. يعد هذا أمرًا بالغ الأهمية لتحسين تبديد حرارة الرقاقة وتحسين أداء الجهاز.

التقطيع: في مرحلة التقطيع، حيث يتم تقطيع الرقاقات إلى شرائح فردية، يوفر ظرف الفراغ Al2O3 امتصاصًا آمنًا ومستقرًا، مما يقلل من مخاطر التلف ويضمن قطعًا نظيفًا.

التنظيف: إن سطح الامتصاص الناعم والموحد لظرف فراغ Al2O3 يجعله مناسبًا لعمليات تنظيف الرقائق، مما يضمن إزالة الملوثات بشكل فعال دون إتلاف الرقائق.

النقل: أثناء مناولة الرقائق ونقلها، يوفر ظرف التفريغ Al2O3 دعمًا موثوقًا وآمنًا، مما يقلل من مخاطر التلف والتلوث.

سيميكوركسمكنسةتدفق تشاك

مزايا ظرف الفراغ Semicorex Al2O3

1. تكنولوجيا السيراميك المسامية الدقيقة الموحدة

تم تصنيع ظرف التفريغ Al2O3 باستخدام تقنية السيراميك المسامية الدقيقة، والتي تتضمن استخدام مساحيق نانوية ذات حجم موحد. تضمن هذه التقنية توزيع المسام وترابطها بشكل متساوٍ، مما يؤدي إلى مسامية عالية وبنية كثيفة بشكل موحد. يعزز هذا التوحيد أداء ظرف التفريغ، مما يوفر دعمًا ثابتًا وموثوقًا للرقاقة.

2. خصائص المواد الاستثنائية

توفر ألومينا (Al2O3) فائقة النقاء بنسبة 99.99% المستخدمة في ظرف التفريغ Al2O3 مجموعة من الخصائص الاستثنائية:

الخصائص الحرارية: بفضل المقاومة العالية للحرارة والتوصيل الحراري الممتاز، يمكن لظرف التفريغ Al2O3 أن يتحمل درجات الحرارة المرتفعة التي تواجهها عادة في تصنيع أشباه الموصلات.

الخصائص الميكانيكية: تضمن القوة والصلابة العالية للألومينا أن يكون ظرف التفريغ Al2O3 متينًا ومقاومًا للتآكل، مما يوفر أداءً طويل الأمد.

خصائص أخرى: توفر الألومينا أيضًا عزلًا كهربائيًا عاليًا ومقاومة للتآكل، مما يجعل ظرف التفريغ Al2O3 مناسبًا لمجموعة واسعة من بيئات التصنيع.

3. التسطيح والتوازي متفوقة

إحدى المزايا الرئيسية لظرف فراغ Al2O3 هو التسطيح العالي والتوازي. تعتبر هذه الخصائص ضرورية لضمان معالجة دقيقة ومستقرة للرقاقات، وتقليل مخاطر التلف وضمان نتائج معالجة متسقة. بالإضافة إلى ذلك، فإن نفاذية الهواء الجيدة وقوة الامتصاص الموحدة لظرف فراغ Al2O3 تضمن التشغيل السلس والموثوق.

4. خيارات التخصيص

في Semicorex، ندرك أن كل عملية تصنيع لأشباه الموصلات لها متطلبات فريدة. ولهذا السبب نقدم خراطيش تفريغ مخصصة مصممة خصيصًا لتلبية احتياجاتك الخاصة. اعتمادًا على التسطيح المطلوب وتكاليف الإنتاج، نوصي بمواد أساسية مختلفة، مما يضمن تحسين وزن وأداء ظرف التفريغ بما يتناسب مع تطبيقك. تشمل هذه المواد الفولاذ المقاوم للصدأ SUS430، وسبائك الألومنيوم 6061، وسيراميك الألومينا الكثيف (اللون العاجي)، والجرانيت، وسيراميك كربيد السيليكون الكثيف.

قياس Al2O3 فراغ تشاك CMM