المستجيب الخزفي الألومينا

Semicorex Alumina Ceramic End Suffor هو أداة أساسية في أنظمة نقل الرقاقة الآلية ، حيث توفر قوة ميكانيكية لا مثيل لها ، والاستقرار الحراري ، والمقاومة الكيميائية. تم تصنيعها باستخدام الرقم العاليالألومينا (al₂o₃) السيراميك، تم تصميم هذا المستجيب النهائي لتلبية المطالب الصارمة لبيئات معالجة الرقاقة ، حيث تكون الدقة والنظافة والمتانة ذات أهمية قصوى.

أذرع روبوت أشباه الموصلات هي واحدة من الأجزاء المهمة من معدات أشباه الموصلات. وعادة ما تتكون من وحدات التحكم والسائقين والسلاح والمؤثرات النهائية. وهي تتميز بالنظافة العالية ، والاستقرار العالي ، والدقة العالية ، والكفاءة العالية والموثوقية العالية. تستخدم روبوتات أشباه الموصلات بشكل رئيسي في العملية الأمامية لتصنيع أشباه الموصلات لنقل الرقصات شبه الموصلات والنقل والموضع.

إن بنية السيراميك التي تحتوي على محتوى الألومينا أكبر من 99.5 ٪ عادة ما يوفر صلابة وارتداء فائقة للحركات المتكررة في البيئات عالية الدقة دون تدهور مع مرور الوقت. يتيح الموصلية الحرارية العالية والتمدد الحراري المنخفض للألومينا الاستقرار الأبعاد في البيئات ذات درجة حرارة مرتفعة ، وضرورة في معظم عمليات غرفة النظافة في أشباه الموصلات ، كما هو الحال في الأبود أو الأدوات المتوفرة أو التفتيش أو التنظيف.

الالسيراميك الألومينايحتوي المستجيب النهائي على سطحي مميز ملحوظ ناعم وله مسامية منخفضة ، مما يجعله بالقرب من جزيئات الصفر التي تم إنشاؤها وتقلل من الصفر على الملوثات أثناء معالجة الويفر. بالإضافة إلى ذلك ، الألومينا خاملة كيميائيا. هذا يعني أنه لن يتفاعل مع أي من غازات العملية وأي سوائل عملية تتواصل مع رقاقة. هذا يحمي الرقاقة وأي تلوث لنفسه ومعدات من أي شيء قد يسبب التآكل.

يتم استخدامها عمومًا كمؤثرات نهائية ، أو آلية التثبيت ، للوحدات النمطية أو النقل الروبوتية في معدات تصنيع الويفر ومعداتها مثل أداة Estcher أو Depostion أو أداة التفتيش أو التنظيف مع فتحات دقيقة أو الأخاديد أو القنوات الفراغات التي تلتقط حجم الويفر الفعلي سواء كانت 100 مم أو 200 مم أو 300 مم ونقل Wafers Wafers. عادةً ما تتعامل المستجيبات النهائية إلى سرعات نقل الرقاقة عند 25 سم/ثانية.

توجد خيارات التخصيص على غرار واجهات معدات محددة أو أحجام رقاقة. تتيح الصلابة الهيكلية للألومينا ملامح رقيقة وخفيفة الوزن تقلل من الكتلة الكلية لنظام المناولة وتؤدي إلى أوقات استجابة أسرع. قد تضيف بعض التكوينات أيضًا مكونات مضادة أو عزل لتوفير حماية إضافية للركائز الإلكترونية الحساسة.

بشكل عام ، يوفر مستجيب End Ceramic Ceramic حلاً فعالًا يعزز العائد المحسن وتقليل التلوث ، حيث تكون الموثوقية التشغيلية العناصر الرئيسية لخط معالجة الرقاقة. بفضل المتانة وخصائص الأداء البدني ، يميز المستجيب الخزفي الفعال والفعال من حيث التكلفة نفسه باعتباره خيارًا شائعًا بين الشركات المصنعة للمعدات وأبنية أشباه الموصلات التي تتطلب معايير إنتاج صارمة في بيئة فائقة التنظيف.