لوحات قاعدة تصاعد الألومينا

لوحات قاعدة تصاعد Semicorex عبارة عن منتجات خزفية عالية النقاء مصممة كقواعد متينة ومستقرة لتركيب الخناصات في معدات تصنيع أشباه الموصلات. توفر هذه اللوحات الدعم الميكانيكي والمواءمة الحاسمة لعمليات معالجة الرقاقة مثل الطباعة الحجرية والحفر والترسب والتفتيش. من الضروري محاذاة العمل بدقة مع مكونات النظام الأخرى لضمان حدوث معالجة الرقاقة مع الإخلاص المطلوب. يتم تصنيع الألواح من خلال تقنيات المعالجة الخاصة بالسيراميك لتحقيق التسطيح الضروري ، والمتانة ذات درجة الحرارة العالية ، والموثوقية طويلة الأجل لتلبية المتطلبات القاسية لتصنيع أشباه الموصلات الحديثة في كل من بيئات العملية وغرفة النظافة.

مصنوعة من لوحات تثبيت Semicorex Alumina من طائرة عاليةالألوميناوجود مستوى نقاء ≧ 99.5 ٪ (نموذجي). ألومينا عالية النقاء لها خصائص ميكانيكية وحرارية جيدة وكذلك صلابة. تحتوي الألومينا العالية على خصائص عزل كهربائية متأصلة ممتازة تسمح أيضًا باستخدام هذه اللوحات في تطبيقات الفراغ والجهد العالي حيث قد يكون التداخل الكهربائي مشكلة. سيكون الألومينا مقاومًا لركوب الدراجات الحرارية ، والذي يسمح للوحات بالحفاظ على دقة أبعاد أفضل من معظم المواد وهي مفيدة للحفاظ على المحاذاة أو الاستقرار الهيكلي بسبب انخفاض التمدد الحراري. هذا العامل مهم في ضمان تكرار تشاك وتحمل العملية الضمنية ، مع العمل على دورات الإنتاج الممتدة.

في أنظمة معالجة أشباه الموصلات ، ليست لوحة قاعدة التثبيت مجرد جهاز للتثبيت الميكانيكي. إنها وسيلة التلامس الحراري بين تشاك وبقية المعدات وهي حاسمة للتبديد الحراري ، والسلامة الهيكلية ، وعزل الاهتزاز. تتطلب إجراءات المعالجة مثل (على سبيل المثال لا الحصر) CVD أو PVD أو أيون أيون ، حيث تكون درجات الحرارة المرتفعة وضغوط الفراغ أمرًا شائعًا ، وتكون قاعدة تركيب مقاومة حرارياً ، خاملة كيميائيًا ومقاومة ، صوتية ميكانيكيا ، ومقاومة للصدمة الحرارية. الصخور الكيميائية أمر حيوي لأن الجبل يجب أن يكون متوافقًا مع الغازات التفاعلية ، وكذلك تنظيف الكيمياء ، مما يمتد عمر الجبل ومنع التلوث.

يتم تشكيل كل لوحة قاعدة تصاعد الألومينا المصنوعة من semicorex إلى التحمل التي تطلبها مصنعي المعدات الأصلية شبه الموصل ، وتكامل المعدات. يتم تصنيع الألواح على التحمل الضيق للسماكة واختلاف الارتفاع والتسطيح لضمان أقصى قدر من الاستقرار والتكرار. يمكن تصنيع لوحات التثبيت هذه مع ثقوب التثبيت أو فتحات أو عدادات على مواصفات العميل لاستيعاب خنازير العمل أو المراحل الميكانيكية أو المعدات الأخرى بشكل أفضل. تتم معالجة السيراميك للألومينا باستخدام تقنيات الطحن الحديثة للتلبيد والدقة لتحسين البنية المجهرية الموحدة وجودة السطح لضمان التلامس الحراري المتسق والمواءمة للاستخدام مع مرور الوقت.

يتم استخدام لوحات قاعدة تصاعد Semicorex Alumina في مجموعة متنوعة من التطبيقات بما في ذلك معالجات الرقاقة ، وأنظمة النقل الآلي ، وتجميعات تشاك الفراغ ، ومراحل القياس. هذه الموثوقية والمتانة في مجموعة متنوعة من حالات العمليات الصعبة ، تجعلها المنتج المفضل مع الشركات المصنعة للأدوات التي تبحث عن مكونات سيراميك قوية طويلة الأمد ، منخفضة الصيانة. تتشارك مجموعة الهندسة مع العملاء لتوفير حلول فريدة محددة لكل لوحة لزيادة الكفاءة في الإنتاج في أشباه الموصلات.

لوحات قاعدة تصاعد الألومينا هي أكثر من مجرد دعم ميكانيكي ؛ إنه عنصر رئيسي في الهندسة الدقيقة في صناعة أشباه الموصلات. مع الاستقرار الميكانيكي الممتاز ، والنقاء ، والتكوين ، فإنها تضمن محاذاة دقيقة ، وحياة طويلة ، والتشغيل الموثوق به في مجموعة واسعة من أدوات العملية. بالنسبة إلى لوحات قاعدة التثبيت عالية الأداء ، تلبية التوقعات العالية لمصنعي أشباه الموصلات اليوم ، Trust Semicorex.