ألومينا روبوت ذراع

ARM Robot Semicorex Alumina هو جزء من السيراميك عالي الأداء مصمم لمهام معالجة الويفر ونقله في إنتاج أشباه الموصلات. مصنوعة من السيراميك ألومينا عالي النقاء (al₂o₃) ، يوفر هذا الذراع الآلي المرونة والدقة والاعتمادية والمتانة في الغرف النظيفة.

ما يبرز لصالح ذراع ألومينا روبوت هو خصائصالسيراميك الألوميناالقوة الميكانيكية والصلابة. مثلالألومينامصنوع أكثر نقية ، يحافظ الألومينا على سلامة هيكلية أفضل ويجعلها أكثر مقاومة للارتداء الميكانيكي والتشوه. كمواد ، تعتبر الألومينا خيارًا رائعًا للأجزاء الآلية التي يتم استخدامها في مهام معالجة الرقاقة الحساسة والمتكررة ، أي عندما يحتاج ذراع الروبوت إلى أداء نفس الوظيفة والاتصال بالرقص ، فإن التشويه البسيط الذي يطبق على الرقاقة من ذراع الروبوت يمكن أن يكلف خسائر مرفق. يمكن أن تساعد الصلابة العالية ، أي الأسطح الصلبة ، في المقاومة الكاشطة والحياة الوظيفية ، أي تمديد حياة ومدة الخدمة/ الاستبدال على مكون آلي.

إلى جانب المتانة الميكانيكية ، تعد ذراع ألومينا روبوت أيضًا عازل كهربائي ممتاز. تصل المقاومة إلى 10 ⁵ ω · سم وتصل قوة العزل إلى 15 كيلو فولت/ملم في درجة حرارة الغرفة ، مما يوفر بيئة أكثر أمانًا للعمل ، خاصةً عند تدخل الإشارات الكهربائية في معدات المعالجة. يصبح هذا أمرًا مهمًا عند حماية مكونات أشباه الموصلات الحساسة التي تنقل بين العمليات مع الحد الأدنى من خطر تلف التفريغ الإلكتروستاتيكي (ESD).

السيراميك الألومينا ممتاز في الحفاظ على الاستقرار عبر درجات حرارة عالية جدا. نقطة الانصهار هي حوالي 2050 درجة مئوية وستقاوم درجات حرارة عالية في المعالجة الحرارية أشباه الموصلات دون دقة الأبعاد أو الدقة الأبعاد. تسمح مقاومة الحرارة العالية باستخدام الذراع في عمليات مثل الصلب الحراري السريع (RTA) أو ترسب البخار الكيميائي (CVD) ، حيث تكون محاذاة الدقة والاستقرار الحراري أمرًا بالغ الأهمية.

واحدة من الفوائد المهمة الأخرى لذراع ألومينا روبوت هي القصور. سطحه خامل لمعظم عوامل التنظيف وغازات العملية المستخدمة في تصنيع أشباه الموصلات. لذلك ، ستبقى خالية من التلوث ولا تسهم في تلوث سطح الرقاقة. يعد هذا الخمول الكيميائي مفتاح تحقيق ظروف الإنتاج فائقة النظيف وتوفير أداء ثابت للأجهزة.

السيراميك الألوميناهو أيضا خيار بأسعار معقولة لأدوات أشباه الموصلات. إنها متوفرة بسهولة كمواد خام وعمليات تصنيع السيراميك الألومينا مفهومة جيدًا وقابلة للتطوير بسهولة. هذا يسمح بإنتاج التحمل القابل للتكرار والمتسق لقطع الغيار عالية الجودة بسعر تنافسي. إن مزيج الأداء والقدرة على تحمل التكاليف يجعل ذراع ألومينا روبوت مثالية لـ OEM's و FABs أشباه الموصلات حيث تحتاج إلى مكونات أتمتة موثوقة لا تكسر البنك.

باختصار ، يوفر ARM Robot Alumina أداءً ميكانيكياً عالياً ، وأداء عازلة عالية ، ومقاومة حرارية عالية ، وأداء كيميائي عالي ، وكل ذلك مع تصنيع مثبت بسعر اقتصادي. بشكل جماعي ، تجعل خصائص الأداء هذه موثوقة وفعالة لتطبيقات معالجة الويفر الدقيقة في تصنيع أشباه الموصلات ، مما يتيح تحسين العائد ، وربما تخفيض مخاطر التلوث وتحسين فعالية المعدات الكلية.