ألواح تلميع ويفر الألومينا

رقاقة الألومينا Semicorex لوحات تلميعهي أجزاء مصنعة بدقة مصنوعة من الألومينا عالية النقاء عن طريق الضغط المتوازن والتلبيد بدرجة حرارة عالية والتصنيع الدقيق. إنها مثالية لتطبيقات التلميع الدقيقة ذات المتطلبات الصارمة للحصول على دقة وكفاءة سطحية فائقة، خاصة لتلميع رقائق أشباه الموصلات، لأن سيراميك الألومينا يوفر خصائص فيزيائية وكيميائية استثنائية.

---

عمر طويل لمقاومة التآكل الممتازة

تعتبر مقاومة التآكل العالية أمرًا ضروريًا لألواح تلميع الرقاقات المستخدمة في الآلات عالية الدقة. تبلغ صلابة سيراميك الألومينا على مقياس موس حوالي 9، وهي في المرتبة الثانية بعد كربيد الماس والسيليكون، مما يسمح لألواح تلميع الرقاقات بمقاومة ظروف التشغيل عالية السرعة والاحتكاك أثناء تلميع رقائق أشباه الموصلات مع فقدان تآكل منخفض. مع هذه المقاومة الممتازة للتآكل، فإن ألواح تلميع رقاقة الألومينا تتميز بعمر خدمة طويل، مما يقلل بشكل كبير من تكرار إيقاف تشغيل المعدات للاستبدال وتقليل نفقات الصيانة والاستبدال.

استقرار حراري استثنائي ومقاومة درجات الحرارة العالية

الألومينايمكن لألواح تلميع الويفر أن تحافظ على خصائصها الفيزيائية وأداء الاحتكاك خلال بيئات درجة الحرارة العالية 1000 درجة مئوية بسبب ثباتها الحراري الاستثنائي ومقاومتها لدرجات الحرارة العالية. إنها مناسبة لظروف العمل ذات درجة الحرارة العالية الناتجة عن الاحتكاك المتكرر، وتجنب التشوه الحراري بشكل فعال والمساهمة في الحفاظ على سطح تلميع ثابت.

مقاومة موثوقة للتآكل الكيميائي

تتميز ألواح تلميع رقاقة الألومينا بمقاومة موثوقة للتآكل الكيميائي. يمكنها تحمل معظم الأحماض والقلويات، بالإضافة إلى محاليل التلميع الكيميائية الشائعة المستخدمة في عملية CMP. لن يتم المساس بسطحها المسطح بسبب التآكل الكيميائي، مما يؤثر على جودة سطح رقائق أشباه الموصلات.

---

تطبيقات لألواح تلميع رقاقة الألومينا Semicorex

1. تلميع رقاقة أشباه الموصلات

تُستخدم ألواح تلميع رقاقة الألومينا على نطاق واسع في الطحن والتلميع الخشن والتلميع النهائي للسيليكون وSiC والياقوت وركائز الرقاقة المختلفة. بفضل خشونتها المنخفضة للغاية وتسطيح سطحها على المستوى النانوي، يمكن لألواح تلميع رقاقة الألومينا أن تلبي بشكل مثالي متطلبات جودة السطح الصارمة لعمليات أشباه الموصلات المتقدمة مثل النقش والطباعة الحجرية.

2. ترقق الرقاقة وتلميع الحواف

أثناء عملية ترقق البسكويت، يمكن استخدام ألواح تلميع بسكويت الألومينا للتحكم بدقة في سماكة البسكويت وإزالة المواد الخلفية بشكل موحد. في عملية تلميع الحواف، يمكن لألواح تلميع الألومينا أن تساعد أيضًا في تحقيق الجودة المثالية لحافة الرقاقة من خلال إزالة النتوءات والعيوب عند حواف الرقاقة.