خراطيش كهرباء سيراميك

خراطيش كهرباء سيراميكهي مكونات دقيقة تستخدم المجال الكهروستاتيكي المتولد بين الأقطاب الكهربائية والرقائق لربط الرقائق وإصلاحها. يتم تطبيقها على نطاق واسع في مجالات مثل أشباه الموصلات، وشاشات العرض المسطحة، والبصريات، وهي مكونات أساسية للمعدات المتطورة مثل أجهزة PVD، وآلات النقش، وزراعة الأيونات.

بالمقارنة مع الطبطبات الميكانيكية التقليدية و الطبطبات الفراغية، تتمتع الطبطبات الكهروستاتيكية الخزفية بالعديد من المزايا في مجال تصنيع أشباه الموصلات. يستخدم هذا الظرف الكهروستاتيكي الخزفي الكهرباء الساكنة لتسطيح الرقائق وتثبيتها بالتساوي على سطحه. يمكن لقوة الامتزاز المنتظمة هذه أن تبقي الجسم الممتز مسطحًا نسبيًا، مما يؤدي إلى تجنب ذلكرقاقةالتزييف أو التشوه الذي قد يكون ناجمًا عن خراطيش ميكانيكية تقليدية أوخراطيش فراغوالتأكد من احتفاظ الرقاقة بدقة المعالجة المناسبة لعمليات أشباه الموصلات عالية الدقة.

تحتوي بعض ظرف السيراميك الكهروستاتيكية على وظائف تسخين متكاملة، والتي يمكنها التحكم بدقة في درجة حرارة الرقاقة من خلال غاز النفخ الخلفي أو أقطاب التسخين الداخلية، والتكيف مع متطلبات درجة الحرارة الصارمة للعمليات المختلفة، وتحسين استقرار المعالجة.

على عكس الظرف الميكانيكي، تعمل الظرف الكهروستاتيكية الخزفية على تقليل الأجزاء المتحركة الميكانيكية، وتقليل تأثير الملوثات الجسيمية على جودة الرقاقة، وحماية نظافة سطح الرقاقة بشكل فعال، وتحسين إنتاجية المنتج.

توفر خراطيش السيراميك الكهروستاتيكية توافقًا واسعًا. ويمكنها استيعاب رقائق ذات أحجام ومواد مختلفة، بما في ذلك السيليكون وزرنيخيد الغاليوم وكربيد السيليكون، مما يلبي احتياجات تصنيع أشباه الموصلات المتنوعة.

يمكنها العمل بثبات في بيئات عالية الفراغ مثل زرع الأيونات والأمراض القلبية الوعائية، والتغلب على قيود ظرف التفريغ التقليدي الذي لا يمكنه امتصاص الرقائق في بيئة فراغية، وتلبية متطلبات عملية زرع الأيونات وترسيب البخار الكيميائي (CVD) والعمليات الأخرى في تصنيع أشباه الموصلات بشكل مثالي.