فوهات سيراميك قابلة للتخصيص

تعد الفوهات الخزفية القابلة للتخصيص من مكونات أشباه الموصلات المهمة المستخدمة لتوصيل الجزء الداخلي والخارجي من غرفة التفاعل في عملية HDP-CVD. تساعد الفوهات الخزفية القابلة للتخصيص والمعالجة بدقة على تحسين التحكم بدقة في معدل تدفق غاز المعالجة، وتقليل الاضطرابات المحتملة، والمساعدة في تكوين بيئة انعكاس أكثر اتساقًا واستقرارًا.

تتبنى Semicorex تكنولوجيا تصنيع التحكم العددي لتحقيق دقة عالية وكفاءة عالية في معالجة الفوهات الخزفية القابلة للتخصيص. تتحكم تقنية المعالجة الميكانيكية الدقيقة بشكل صارم في تفاوتات الأبعاد للقطر الداخلي والقطر الخارجي وطول الفوهات الخزفية ضمن النطاق القياسي، مما يضمن درجة عالية من الاتساق في شكل وحجم الفوهات، وبالتالي تعزيز توحيد واستقرار الرش بشكل كبير في التشغيل الفعلي.

تمنح المعالجة النهائية للسطح فوهات سيراميكية قابلة للتخصيص بسطح أملس ومسطح وحجم مسام خالي من الشقوق والمسام والشوائب والعيوب الأخرى، مما يقلل من تسرب السوائل أو اختلاط الشوائب إلى أقصى حد. تمنح عملية المعالجة النهائية للسطح فوهات سيراميكية قابلة للتخصيص بسطح أملس ومستوٍ وخالي من الشقوق والمسام والشوائب والعيوب الأخرى، مما يقلل من تسرب السوائل أو اختلاط الشوائب إلى أقصى حد. إن الفوهات الخزفية القابلة للتخصيص والتي خضعت لعملية تنظيف فائقة النظافة خالية من التلوث بالجسيمات وتتمتع بنظافة على مستوى أشباه الموصلات، مما يضمن حصول العملاء على نتائج ترسيب أغشية عالية الجودة موحدة وخالية من التلوث.

تم تحسين وتصميم فتحة وشكل هذه الفوهة الخزفية المخصصة بشكل علمي، مما يتيح التحكم الدقيق في تدفق الغاز. هذا التصميم لا يؤثر فقط بشكل مباشر على تجانس الفيلم والتحكم في سمكه، ولكنه أيضًا يقلل بشكل فعال من العيوب المختلفة في الطبقة المودعة، مما يوفر ضمانًا موثوقًا لعملية إنتاج ترسيب الفيلم ذات الصلة.

يمكن لفريق Semicorex الفني توفير التعاون الفني الكامل بدءًا من اختيار المواد وحتى الفوهات الخزفية، وحقن الثبات العالي وعمر الخدمة الطويل والطاقة الأساسية منخفضة الصيانة في عملية الإنتاج الخاصة بك. لتلبية المتطلبات المختلفة لظروف العمل المختلفة، تختار شركة Semicorex بعناية ثلاث مواد عالية الأداء -كربيد السيليكون, الألوميناوزركونيا- لتتناسب بدقة مع متطلباتك الفنية. نحن نقبل الخدمات المخصصة بناءً على الرسومات المقدمة. سواء كان الأمر يتعلق بالمخطط التفصيلي، أو تفاوت الأبعاد، أو معلمات الفتحة المتعلقة بالوظائف الأساسية (بما في ذلك حجم الفتحة، وتصميم نوع الثقب، وتشطيب الجدار الداخلي وغيرها من التفاصيل)، يمكن لفريقنا الفني تصميم فوهات سيراميك مخصصة تناسب ظروف العمل الخاصة بك.