غطاء طلاء CVD TaC

يتميز غطاء طلاء Semicorex CVD TaC بصلابة مذهلة، تصل عادة إلى 2500-3000 فولت على مقياس فيكرز. تنبع هذه الصلابة الاستثنائية من الروابط التساهمية القوية بشكل لا يصدق بين ذرات التنتالوم والكربون، مما يشكل حاجزًا كثيفًا لا يمكن اختراقه ضد التآكل الكاشط والتشوه الميكانيكي. من الناحية العملية، يُترجم هذا إلى أدوات ومكونات تظل أكثر وضوحًا لفترة أطول، وتحافظ على دقة أبعاد غطاء طلاء CVD TaC، وتوفر أداءً ثابتًا طوال عمره الافتراضي.

يمتلك الجرافيت، بمزيجه الفريد من الخصائص، إمكانات هائلة لمجموعة واسعة من التطبيقات. ومع ذلك، فإن ضعفه المتأصل غالبًا ما يحد من استخدامه. تغير طلاءات CVD TaC اللعبة، وتشكل رابطة قوية بشكل لا يصدق مع ركائز الجرافيت، مما يخلق مادة متآزرة تجمع أفضل ما في العالمين: التوصيل الحراري والكهربائي العالي للجرافيت مع الصلابة الاستثنائية، ومقاومة التآكل، والخمول الكيميائي لـ CVD. غطاء طلاء TaC.

يمكن للتقلبات السريعة في درجات الحرارة داخل المفاعلات الفوقية أن تعيث فسادًا في المواد، مما يتسبب في التشقق والالتواء والفشل الكارثي. ومع ذلك، يتمتع غطاء طلاء CVD TaC بمقاومة رائعة للصدمات الحرارية، وقادر على تحمل دورات التسخين والتبريد السريعة دون المساس بسلامته الهيكلية. تنبع هذه المرونة من البنية الدقيقة الفريدة لغطاء طلاء CVD TaC، والتي تسمح بالتوسع والانكماش السريع دون توليد ضغوط داخلية كبيرة.

من الأحماض المسببة للتآكل إلى المذيبات العدوانية، يمكن أن تكون ساحة المعركة الكيميائية لا ترحم. ومع ذلك، يظل غطاء الطلاء CVD TaC ثابتًا، ويظهر مقاومة ملحوظة لمجموعة واسعة من المواد الكيميائية والعوامل المسببة للتآكل. هذا الخمول الكيميائي يجعله خيارًا مثاليًا للتطبيقات في المعالجة الكيميائية واستكشاف النفط والغاز وغيرها من الصناعات حيث تتعرض المكونات بشكل روتيني لبيئات كيميائية قاسية.

طلاء كربيد التنتالوم (TaC) على مقطع عرضي مجهري

التطبيقات الرئيسية الأخرى في معدات Epitaxy:

المستقبلات وحاملات الويفر:تعمل هذه المكونات على تثبيت الركيزة وتسخينها أثناء النمو الفوقي. توفر طلاءات CVD TaC على المستقبلات وحاملات الرقاقات توزيعًا موحدًا للحرارة، وتمنع تلوث الركيزة، وتعزز مقاومة الالتواء والتدهور الناتج عن درجات الحرارة المرتفعة والغازات التفاعلية.

حاقنات وفوهات الغاز:هذه المكونات مسؤولة عن توصيل تدفقات دقيقة من الغازات التفاعلية إلى سطح الركيزة. تعمل طلاءات CVD TaC على تعزيز مقاومتها للتآكل والتآكل، مما يضمن توصيل الغاز بشكل ثابت ويمنع تلوث الجسيمات الذي قد يعطل نمو البلورات.

بطانات الغرفة والدروع الحرارية:تتعرض الجدران الداخلية للمفاعلات الفوقية للحرارة الشديدة والغازات التفاعلية وتراكم الترسيب المحتمل. تحمي طلاءات CVD TaC هذه الأسطح، وتطيل عمرها الافتراضي، وتقلل من توليد الجسيمات، وتبسط إجراءات التنظيف.