إي إس سي تشاك

يستخدم Semicorex ESC Chuck القوى الكهروستاتيكية للحفاظ على التحكم الدقيق في موضع الرقاقة، مما يضمن الدقة العالية والتكرار في بيئات تصنيع أشباه الموصلات. إن تصميم ظرف ESC، إلى جانب اختيار المواد القوية والأبعاد القابلة للتخصيص، يجعلها أداة متعددة الاستخدامات وأساسية في عمليات مثل النقش والترسيب وزرع الأيونات.

يعمل ظرف ESC من خلال تطبيق مجال كهروستاتيكي عالي الجهد بين أقطاب ظرف الظرف والرقاقة، مما يخلق قوة جذابة تثبت الرقاقة في مكانها. يتم تأمين الرقاقة، المصنوعة عادة من السيليكون أو كربيد السيليكون، بهذه القوة، مما يسمح بعمليات دقيقة في بيئات عالية الفراغ. يلغي هذا النظام الحاجة إلى التثبيت الميكانيكي أو الرمي بالتفريغ، مما قد يؤدي إلى إدخال ملوثات أو تشويه الرقاقة. باستخدام ظرف ESC، يمكن للمصنعين تحقيق بيئة أنظف وأكثر استقرارًا لعمليات التصنيع الدقيقة، مما يؤدي إلى إنتاجية أعلى ونتائج أكثر اتساقًا.

إحدى المزايا الرئيسية لتقنية ESC هي قدرتها على الحفاظ على قبضة قوية على الرقاقة مع توزيع القوة بالتساوي عبر سطحها. وهذا يضمن بقاء الرقاقة مسطحة ومستقرة، وهو أمر بالغ الأهمية لتحقيق النقش أو الترسيب الموحد، خاصة في العمليات التي تتطلب دقة دون الميكرونية. تسمح الأبعاد القابلة للتخصيص لظرف ESC باستيعاب الرقائق ذات الأحجام المختلفة، بدءًا من الرقائق القياسية مقاس 200 مم و300 مم وحتى الأحجام المتخصصة غير القياسية المستخدمة في البحث والتطوير أو في إنتاج أجهزة أشباه الموصلات المتخصصة.

يتم اختيار المواد المستخدمة في بناء ظرف ESC بعناية لضمان التوافق مع البيئات القاسية التي توجد عادةً في معالجة أشباه الموصلات. يتم استخدام ألومينا السيراميك عالية النقاء نظرًا لخصائصها العازلة الكهربائية الممتازة والثبات الحراري ومقاومة تآكل البلازما. تسمح هذه الخصائص للظرف بالعمل بفعالية في كل من ظروف درجات الحرارة العالية والفراغ العالي، مما يوفر المتانة والموثوقية المطلوبة للاستخدام طويل الأمد في بيئة غرف الأبحاث.

يعد التخصيص فائدة مهمة أخرى لخراطيش ESC. اعتمادًا على المتطلبات المحددة لعملية تصنيع أشباه الموصلات، يمكن تصميم أبعاد ظرف الظرف وتكوينات القطب الكهربائي وتركيبات المواد لتلبية الاحتياجات الفريدة للمعدات والرقائق التي تتم معالجتها. سواء كان التطبيق يتضمن حفر البلازما، أو ترسيب البخار الكيميائي (CVD)، أو ترسيب البخار الفيزيائي (PVD)، يمكن تصميم ظرف ESC لتحسين الأداء والحفاظ على سلامة الرقاقة أثناء المعالجة.