مصحوب الكوارتز

Semicorex مدمجة الكوارتز هي المواد الاستهلاكية القيمة المستخدمة في تصنيع أشباه الموصلات ، مع نقاء كبير ، والاستقرار الحراري والقوة الميكانيكية في بيئات درجة الحرارة القصوى. يتم تصنيع هذه البوتقات من رمال السيليكا عالية النقاء التي يتم دمجها معًا باستخدام تقنية ذوبان عالية التحكم لتحقيقها لتحقيق أعلى كثافة متوفرة ، مع مادة متجانسة في الغالب مع شوائب محدودة أو فقاعات في هيكلها القابلة للتكرار للغاية لإنتاج السحب الكريستالي وإنتاج الويفر. تحتوي هذه البوتقات على مستويات من التلوث منخفضة للغاية مما يجعلها مثالية للعمليات التي تؤثر فيها نقاء المواد بشكل مباشر على عائد الجهاز وأداء الجهاز.

يتم استخدام البوتقات الكوارتز المنصهرة في إنتاج أشباه الموصلات لطريقة Czochralski (CZ) لنمو السيليكون الكريستالي المفرد. تتمتع البوتقات الكوارتز المنصهرة بمقاومة حرارية عالية مما يتيح لها تحمل درجات الحرارة لذوبان polysilicon التي غالبا ما تكون أعلى من 1400 درجة مئوية.  بالإضافة إلى ذلك ، تكون كوانى الكوارتز تنصهر خاملة كيميائيًا ولن تتفاعل مع polysilicon بطريقة من شأنها أن تؤثر على نقاء السيليكون.  يمكن أن تخضع البوتقات الكوارتز المنصهرة لركوب الدراجات الحرارية كبيرة للغاية دون فقدان السلامة الهيكلية ، وهذا يمكن أن يوفر حالة حالة ثابتة لنمو البذور في بنية بلورية ، وبالتالي تحقيق التوحيد الضروري في رقائق أشباه الموصلات.

التنصهر الكوارتزالخصائص البصرية والخصائص الميكانيكية تسفر عن مزايا فريدة في إعداد أشباه الموصلات. سيؤدي المعامل المنخفض للتوسع الحراري إلى تخفيف الصدمة الحرارية والتناقض الأبعاد في حين أن التوصيل الحراري المنخفض سيساعد في الحفاظ على تدرجات درجة الحرارة في فرن النمو البلوري بالنسبة إلى البلورة. سوف يقلل السطح الداخلي للبوتقة الناعمة الحرارية إلى الحد الأدنى من توليد الجسيمات وسيعزز سلوك الذوبان الموحد الذي سيحمي نقاء البلورة المزروعة.

تتكون عمليات التصنيع المستخدمة لضمان توافق كل بوتقة الكوارتز المنصهرة مع التحمل الأبعاد الصارمة والصفات السطحية. يتم فحص اختيار المواد الخام للتخلص من الملوثات المعدنية ، ويتم ذوبان في بيئة متخصصة تنفي الغاز الجوي و/أو تلوث الجسيمات. استنادًا إلى تطبيق أشباه الموصلات ، يمكن صنع البوتقات في عدة أقطار وسمك الجدار ، من البوتقات البحثيات الصغيرة ، إلى البوتقات القابلة للقطر الكبيرة القادرة على إنتاج 300 مم.

في حين أن الخصائص الفريدة لكوتول الكوارتز تنصهر تعمل بالفعل على تحسين المتانة والأداء ، يمكن استخدام علاجات أو طلاء سطحية متخصصة إضافية عند الحاجة. على سبيل المثال ، ستشمل بعض العمليات رواسب طبقة السيليكون الداخلية لتحسين فترة حياة البوتقة أو لتقليل كمية الأكسجين إلى السيليكون المنصهر. تساعد هذه التحسينات على كفاءة إنتاج أشباه الموصلات إذا كانت العملية تستخدم بوتقة الكوارتز ، لأنها تقلل من تواتر الاستبدال وتؤدي إلى عوائد أكبر من البلورات.

تلعب بوتقة الكوارتز المنصهرة أيضًا دورًا في البحث وتطوير عمليات جديدة في صناعة أشباه الموصلات. تتيح قدرتها على التكيف المهندسين القدرة على استكشاف تقنيات زراعة البلورات البديلة ، أو تقنيات تعاطي المنشطات للمواد ، أو مواد أشباه الموصلات الجديدة خارج السيليكون ، مثل أرسينيد الغاليوم أو كربيد السيليكون. تمنح قدرة كوارتز كوارتز بوتقة على تحمل الظروف الكيميائية والحرارية المتطرفة المهندسين التأكيد النهائي في كل من الإنتاج الضخم والتصنيع التجريبي.

semicorex تنصهركوارتزأصبحت البوتقات أدوات مهمة في تصنيع أشباه الموصلات اليوم ، والتي تتميز بتقنية عالية ، وخصائص حرارية متفوقة ، والاستقرار الهيكلي المذهل فيما يتعلق بأكثر معايير الصناعة. وبالتالي ، فإن قدرتها على توليد رقائق أشباه الموصلات الخالية من العيوب ، وتؤثر بشكل مباشر على موثوقية وأداء الأجهزة الإلكترونية في جميع أنحاء العالم.