قطب الجرافيت

يعتبر Semicorex Graphite Electrode أحد مكونات الجرافيت عالية النقاء والدقة للاستخدام في التطبيقات الحرارية لأشباه الموصلات، حيث تعتبر التوصيل الكهربائي والثبات الحراري ودقة الأبعاد أمرًا بالغ الأهمية. في الواقع، يتم استخدام هذا النوع من الأقطاب الكهربائية في الأفران ذات درجة الحرارة العالية والمفاعلات الفوقية وغرف المعالجة الحرارية، مما يسهل توصيل التيار المستقر ونقل الحرارة والاستقرار في ظل الظروف القاسية لدرجة الحرارة والغلاف الجوي. نظرًا للنقاء الشديد وتجانس الهيكل الصلب والخواص الميكانيكية العالية لأقطاب Semicorex Graphite، فإنها يمكن أن توفر أداءً حراريًا موثوقًا به كعناصر تسخين في تطبيقات أشباه الموصلات الصعبة.

يتم تصنيع قطب الجرافيت من مادة جرافيت ذات حبيبات دقيقة عالية الجودة، ويتم تصنيع كل منها باستخدام تسلسل متقدم من البثق والكربنة ذات درجة الحرارة العالية والجرافيت. تم تصميم البنية المجهرية للجرافيت لمقاومة كهربائية ثابتة تقريبًا، وموصلية حرارية عالية وثبات ميكانيكي. المنتج النهائي عبارة عن موصل حراري عالي النقاء يحافظ على الحالة المادية والتوزيع الموحد للتيار في البيئات عالية الطاقة بالإضافة إلى التقلبات السريعة في درجات الحرارة.

أداء فائق في منتجاتناالجرافيت

يضمن الجرافيت الخاص بنا توحيد الأداء الفائق. أولاً، أثناء عملية الكربنة، تحتوي أفراننا على 115 مترًا مكعبًا فقط. يقوم فريقنا الفني بمراقبة مجال درجة حرارة منتجات الجرافيت في مناطق مختلفة من كل فرن. في مرحلة درجة الحرارة المنخفضة الأولية (0-200 درجة مئوية)، نتحكم في درجة الحرارة ضمن ±10 درجة مئوية، وفي درجات الحرارة المرتفعة (فوق 600 درجة مئوية)، ضمن ±1 درجة مئوية. نحن لا نراقب مجال درجة الحرارة بين جزيئات الجرافيت المختلفة فحسب، بل نراقب أيضًا درجة الحرارة السطحية والداخلية لكل قطعة جرافيت فردية، ونتحكم فيها في حدود ±3 درجة مئوية. نقوم بمراقبة 8 نقاط لدرجة الحرارة في كل فرن تفحيم.

ثانيًا، أثناء عملية الرسم الجرافيتي، بأخذ دفعة 500 كجم كمثال، قمنا أيضًا بمراقبة 8 نقاط لدرجة الحرارة. بعد الرسم البياني، قمنا باختبار 24 نقطة بشكل عشوائي على طول المحاور X وY وZ لضمان التماثل. تختبر معظم الشركات في الصناعة المحور X فقط، أو على الأكثر المحور XY، حيث تختبر الشركات المصنعة النموذجية 6-8 نقاط فقط، وتختبر الشركات الأفضل 12 نقطة. نختبر 24 نقطة.

في المجال الحراري لأشباه الموصلات، يعد قطب الجرافيت جزءًا مهمًا من مجموعة التسخين، حيث يوجه التيار الكهربائي إلى منطقة التسخين ويسمح بتوزيع درجة الحرارة بشكل متحكم عبر عملية معينة، مثل الأكسدة، أو الانتشار، أو LPCVD، أو النضوج. يجب أن يلعب قطب الجرافيت دورًا تشغيليًا موثوقًا به عند درجات حرارة تتجاوز 2000 درجة مئوية، وأن يقوم بذلك أثناء مقاومة الأكسدة أو التشويه أو تلويث موقع التسخين.

تتميز أقطاب Semicorex Graphite بموصلية كهربائية متميزة، مما يسهل توصيل الطاقة بشكل فعال بأقل قدر من الخسائر، كما أنها تمتلك موصلية حرارية ممتازة، مما يسمح بنقل الحرارة بشكل منتظم وسريع في الفرن. إن الجمع بين التمدد الحراري المنخفض والقوة الميكانيكية العالية يقلل من التشوه والتشقق أثناء التدوير الحراري، مما يؤدي إلى سلوك مستقر على مدار فترات طويلة من عمر الخدمة. يتم تصنيع كل قطب كهربائي وفقًا لتفاوتات الأبعاد الصارمة والتشطيب السطحي الناعم لضمان الاتصال المستمر والمقاومة الكهربائية التي لا تذكر على سطح التلامس.

مع أخذ المتطلبات المحددة لعمليات أشباه الموصلات في الاعتبار، يمكن لـ Semicorex هندسة تصميمات إلكترودات مخصصة لتناسب أي تكوين للفرن ومواصفات الطاقة. يمكن توفير أقطار وأطوال وأنواع مختلفة من الوصلات أو التشطيبات السطحية. عند الضرورة، يمكن تطبيق مواد الطلاء، مثل SiC أو الكربون الحراري، لدعم مقاومة الأكسدة وعمر الخدمة في بيئات عالية الأكسجين أو الغاز التفاعلي.

النقاء العالي للمادة الجرافيتيعمل على ضمان مستويات منخفضة بشكل لا يصدق من الشوائب المعدنية (والشوائب الغازية)، وغالبًا ما تزيد عن 99.999% من الكربون. تساعد هذه المستويات المنخفضة من الشوائب على تجنب تلويث رقائق أشباه الموصلات أثناء المعالجة الحرارية. إلى جانب العمق الكبير في التصنيع والتشطيب السطحي المصقول، تلبي أقطاب Semicorex Graphite كلاً من الاستقرار الميكانيكي والكيميائي لتقنيات تصنيع الرقاقات الحديثة.

سواء تم استخدامه في أفران الانتشار، أو المفاعلات الفوقية، أو معدات المعالجة ذات درجة الحرارة العالية، فإن قطب الجرافيت Semicorex يوفر أداءً لا مثيل له في البيئات الحرارية الأكثر تطلبًا. من خلال الجمع بين النقاء العالي والهندسة الدقيقة ومعالجة المواد المتقدمة، تقدم Semicorex حلاً إلكترودًا يضمن التوصيل الحالي المستقر والتدفئة المتسقة والموثوقية التشغيلية طويلة المدى الضرورية لتصنيع أشباه الموصلات من الجيل التالي.