تم تصميم سخان Semicorex Graphite للمنطقة الساخنة، المصمم للعمل بشكل موثوق داخل أفران ذات درجة حرارة عالية، لتحمل الظروف الصعبة الملازمة لعمليات مثل ترسيب البخار الكيميائي (CVD)، والتصلب، والتليين بدرجة حرارة عالية. نحن في Semicorex ملتزمون بتصنيع وتوريد سخانات الجرافيت عالية الأداء للمنطقة الساخنة التي تدمج الجودة مع فعالية التكلفة.**
توزيع درجة الحرارة المتجانسة:يشتهر سخان الجرافيت للمنطقة الساخنة بخصائص التسخين الموحدة، والتي يتم تحقيقها من خلال مزيج من معالجة المواد الدقيقة والتصنيع الدقيق. يضمن هذا التجانس ملفًا ثابتًا لدرجة الحرارة عبر سطح التسخين بالكامل، مما يقلل من التدرجات الحرارية التي يمكن أن تؤدي إلى معالجة غير متساوية للرقائق، وانخفاض الإنتاج، وأداء الجهاز غير المتسق.
مقاومة التآكل استثنائية:يُظهر سخان الجرافيت للمنطقة الساخنة مقاومة ملحوظة لمجموعة متنوعة من الغازات المسببة للتآكل والمواد الكيميائية التي يتم مواجهتها بشكل شائع في معالجة أشباه الموصلات ذات درجات الحرارة العالية. يضمن هذا الخمول المتأصل استقرار وأداء السخان على المدى الطويل، مما يقلل من مخاطر التلوث ويطيل العمر التشغيلي.
مقاومة الأكسدة متفوقة:على عكس الجرافيت التقليدي، يوفر سخان الجرافيت للمنطقة الساخنة مقاومة فائقة للأكسدة، حتى في درجات الحرارة المرتفعة. تعتبر هذه الخاصية ضرورية للحفاظ على سلامة السخان ومنع تكون الجسيمات الملوثة داخل غرفة المعالجة.
نقاء كيميائي عالي للغاية:تتم معالجة سخان الجرافيت للمنطقة الساخنة لتحقيق مستويات نقاء عالية للغاية، مما يقلل من خطر إدخال الملوثات غير المرغوب فيها إلى بيئة معالجة أشباه الموصلات. يعد هذا النقاء الاستثنائي ضروريًا للحفاظ على سلامة مواد أشباه الموصلات الحساسة وضمان الخصائص الكهربائية والبصرية المطلوبة للأجهزة المصنعة.
القوة الميكانيكية العالية والاستقرار:يتمتع سخان الجرافيت للمنطقة الساخنة بقوة ميكانيكية رائعة وثبات الأبعاد في درجات حرارة مرتفعة، مما يتيح تصنيع مكونات سخان قوية قادرة على تحمل قسوة التشغيل في درجات الحرارة العالية، بما في ذلك التدوير الحراري والضغط الميكانيكي.