قوارب ويفر الكوارتز الأفقية

قوارب رقاقة الكوارتز الأفقيةعادةً ما يتم حمل رقائق أشباه الموصلات أفقيًا داخل أنابيب الفرن الخاصة بمعدات المعالجة الحرارية، ويتم تسخينها بواسطة أجهزة تسخين خارجية. يتم استخدامها على نطاق واسع في عمليات المعالجة الحرارية لأشباه الموصلات المسببة للتآكل ذات درجة الحرارة العالية، مثل عمليات الأكسدة الحرارية، والانتشار بدرجة حرارة عالية، والتليين، وترسيب البخار الكيميائي (CVD).

وظائف قوارب رقاقة الكوارتز الأفقية Semicorex

1. عقد وتأمين مستقر

تتمتع قوارب Semicorex الأفقية المصنوعة من رقائق الكوارتز بقدرة تحمل ممتازة ويمكنها دائمًا تقديم دعم مستقر لرقائق أشباه الموصلات المتعددة. ويضمن تصميمها الخارجي الأمثل وبنية الفتحات الدقيقة كلًا منهمارقاقةتم تركيبه بشكل مثالي وتأمينه بإحكام على قوارب رقاقة الكوارتز الأفقية، مما يقلل بشكل كبير من خدوش الرقاقة والاصطدامات الناجمة عن الاهتزاز والإزاحة والإمالة أثناء عمليات النقل والتصنيع.

2. المساعدة في توحيد العمليات

يسمح هيكل الفتحات المتساوية التباعد لقوارب رقاقة الكوارتز الأفقية بوضع رقائق أشباه الموصلات بشكل منظم، وبالتالي إنشاء مجال تدفق غاز ثابت وسلس في الأفران ذات درجة الحرارة العالية. يحقق التصميم الهيكلي تلامسًا ثابتًا للغاز ومعدل تفاعل على كل سطح رقاقة، وبالتالي تقليل العيوب المختلفة الناتجة عن التسخين غير المتساوي والتلامس التفاضلي للغاز، مثل أكسدة الرقاقة غير الكاملة، وترسيب الأغشية الرقيقة غير المتساوي، وانحراف تركيز المنشطات.

3. عمر خدمة طويل الأمد

بفضل المقاومة الفائقة لدرجات الحرارة العالية لمادة الكوارتز، يمكن لقوارب رقاقة الكوارتز الأفقية Semicorex أن تتحمل درجات الحرارة العالية التي تتراوح بين 1100-1200 درجة مئوية لفترة طويلة دون تشوه أو ذوبان.كوارتزوهو خامل كيميائيا للغازات المستخدمة عادة في عمليات أشباه الموصلات، مثل الأكسجين والنيتروجين وكلوريد الهيدروجين. يمكن لهذا الخمول الكيميائي الاستثنائي أن يقلل من خطر التآكل الناتج عن غازات المعالجة، مما يؤدي إلى إطالة عمر الخدمة بشكل كبير وتقليل وقت وتكاليف استبدال المعدات.