أنبوب التوجيه الداخلي

أنبوب التوجيه الداخلي Semicorex مصمم بدقةمكون الكربون/الكربون (C/C).مصممة لتطبيقات المجال الحراري المتقدمة ذات درجات الحرارة العالية، وخاصة في نمو بلورات السيليكون عالية النقاء. باعتباره عنصرًا حاسمًا في أفران نمو البلورات، يلعب هذا المكون دورًا رئيسيًا في تشكيل التدرج الحراري وتثبيته، مما يضمن تكوين البلورات الأمثل وجودة المواد المتسقة.

تم تصنيع أنبوب التوجيه الداخلي من مركب الكربون المقوى بألياف الكربون عالي الكثافة، ويوفر سلامة هيكلية استثنائية وثباتًا حراريًا في ظل الظروف القاسية. مع كثافة تبلغ ≥1.35 جم/سم³ وقوة انثناء تبلغ ≥110 ميجا باسكال، فإنها تحافظ على المتانة الميكانيكية حتى أثناء التعرض لفترات طويلة لدرجات حرارة مرتفعة. تعتبر هذه الخصائص ضرورية في إنتاج السيليكون من فئة أشباه الموصلات، حيث يمكن أن تؤثر التقلبات الطفيفة في الظروف الحرارية بشكل كبير على تجانس البلورات ومعدلات العيوب.

الوظيفة الأساسية: التحكم الدقيق في التدرج

يتمثل الدور الأساسي لأنبوب التوجيه الداخلي C/C في إنشاء مجال درجة حرارة متدرجة دقيق. أثناء عملية نمو بلورة السيليكون، يتم وضعها مباشرة فوق المصهور من أجل:

تدفق الغاز المباشر: يوجه تدفق غاز الأرجون الخامل، مما يضمن إزالة أبخرة أكسيد السيليكون (SiO) بكفاءة بعيدًا عن سطح الذوبان، مما يمنع تلوث الأكسجين في البلورة.

التدريع الحراري: يحمي البلورة المتنامية من الإشعاع الحراري المباشر من جدران البوتقة، مما ينشئ التدرج الحاد لدرجة الحرارة المحورية اللازمة لسحب البلورات بسرعة عالية وعالية الجودة.

كفاءة الطاقة: من خلال تركيز الحرارة داخل منطقة الذوبان وعزل مكونات الفرن العلوي، فإنه يقلل بشكل كبير من إجمالي استهلاك الطاقة.

المواصفات الفنية والتميز في المواد

يتم تصنيع أنابيب التوجيه الداخلية الخاصة بنا باستخدام كثافة عاليةمركبات الكربون / الكربون، مما يوفر بديلاً متميزًا للجرافيت التقليدي. تم تحسين خصائص المواد للظروف القاسية للأفران الفراغية لأشباه الموصلات:

الكثافة: ≥ 1.35 جم/سم3

قوة الانحناء: ≥ 110 ميجا باسكال

معامل التمدد الحراري (CTE): ≥ 1.0 × 10⁻⁶ /K

الموصلية الحرارية (درجة حرارة الغرفة): ≥ 10 وات/(م·ك)

صناعة

مع تحرك الصناعة نحو أحجام أكبر من الرقائق (300 مم و450 مم)، يزداد الطلب على المجال الحراري بشكل كبير. تتوافق أنابيب التوجيه الداخلية الخاصة بنا مع العلامات التجارية الكبرى لأفران CZ ويمكن تخصيصها من حيث الهندسة والطلاء.