TAC المغلفة بوتقة في نمو البلورة كذا

في السنوات الأخيرة ،TAC المغلفةأصبحت البوتقات حلًا تقنيًا مهمًا كأوعية تفاعل في عملية نمو بلورات كربيد السيليكون (SIC). أصبحت مواد TAC موادًا رئيسية في مجال نمو بلورات كربيد السيليكون بسبب مقاومة التآكل الكيميائية الممتازة واستقرار درجة الحرارة العالية. بالمقارنة مع البوتقات التقليدية للجرافيت ، توفر البوتقات المطلية TAC بيئة نمو أكثر استقرارًا ، وتقلل من تأثير تآكل الجرافيت ، وتوسيع عمر خدمة البوتقة ، وتجنب ظاهرة غلاف الكربون بشكل فعال ، مما يقلل من كثافة الأنابيب الدقيقة.

 الشكل 1 النمو الكريستالي SIC

المزايا والتحليل التجريبي للبوتقات المغلفة TAC

في هذه الدراسة ، قارنا نمو بلورات كربيد السيليكون باستخدام البوتقات الجرافيت التقليدية وكوليمات الجرافيت المغلفة مع TAC. أظهرت النتائج أن البوتقات المغلفة TAC تعمل بشكل كبير على تحسين جودة البلورات.

Fig.2 OM صورة من سبيكة SIC التي تزرعها طريقة PVT

يوضح الشكل 2 أن بلورات كربيد السيليكون المزروعة في البوتقات الجرافيت التقليدية تعرض واجهة مقعرة ، في حين أن تلك المزروعة في البوتقات المغلفة TAC تظهر واجهة محدبة. علاوة على ذلك ، كما هو موضح في الشكل 3 ، يتم نطق ظاهرة الكريستالات الحافة في بلورات نمت باستخدام البوتقات الجرافيت التقليدية ، في حين أن استخدام البوتقات المغلفة TAC يخفف بشكل فعال من هذه المشكلة.

يشير التحليل إلى أنطلاء TACيرفع درجة الحرارة على حافة البوتقة ، مما يقلل من معدل نمو البلورات في تلك المنطقة. بالإضافة إلى ذلك ، يمنع طلاء TAC التلامس المباشر بين الجدار الجانبي الجرافيت والبلورة ، مما يساعد على تخفيف النواة. هذه العوامل تقلل بشكل جماعي من احتمال حدوث الكريستالات على حواف البلورة.

الشكل 3 أوم صور رقائق في مراحل نمو مختلفة

علاوة على ذلك ، نمت بلورات كربيد السيليكونTAC مغلفةأظهرت البوتقات عدم تغليف الكربون تقريبًا ، وهو سبب شائع لعيوب micropipe. نتيجة لذلك ، تُظهر هذه البلورات انخفاضًا كبيرًا في كثافة عيب Micropipe. تؤكد نتائج اختبار التآكل الواردة في الشكل 4 أن البلورات المزروعة في البوتقات المغلفة TAC لا تحتوي على عيوب micropipe تقريبًا.

الشكل 4 أوم صورة بعد حفر كوه

تحسين جودة البلورة والتحكم في الشوائب

من خلال GDMS واختبارات القاعة من البلورات ، وجدت الدراسة أن محتوى TA في البلورة زاد قليلاً عند استخدام البوتقات المغلفة TAC ، لكن طلاء TAC يقتصر بشكل كبير على دخول النيتروجين (N) في الكريستال. باختصار ، يمكن أن تنمو البوتقات المغلفة TAC بلورات كربيد السيليكون بجودة أعلى ، وخاصة في تقليل كثافة العيوب (وخاصة الأنابيب الدقيقة وتغليف الكربون) والتحكم في تركيز المنشطات النيتروجين.

Semicorex يوفر جودة عاليةبوتقة الجرافيت المغلفة TACلنمو البلورة كذا. إذا كان لديك أي استفسارات أو تحتاج إلى تفاصيل إضافية ، فالرجاء عدم التردد في الاتصال بنا.

اتصل بالهاتف # +86-13567891907

البريد الإلكتروني: sales@semicorex.com