أجزاء السيراميك أشباه الموصلات

تنتمي أجزاء السيراميك شبه الموصل إلى السيراميك المتقدم وهي جزء لا غنى عنه من عملية تصنيع أشباه الموصلات. عادة ما تكون المواد الخام للإعداد مواد غير عضوية عالية النقاء ، مثل أكسيد الألومنيوم ، كربيد السيليكون ، نيتريد الألومنيوم ، نيتريد السيليكون ، أكسيد يتريوم ، أكسيد الزركونيوم ، إلخ.

أكسيد الألومنيوم

يتم استخدامه على نطاق واسع ، ويختلف أداء المنتج وفقًا للنقاء. طهارة 95 ٪ صفراء فاتحة ، ونقاء 99 ٪ هو ثلج أبيض. لديها صلابة ممتازة ، قوة ، مقاومة للارتداء ، مقاومة درجات الحرارة العالية ومقاومة التآكل ، ويمكن استخدامها لإعداد معظم أجزاء السيراميك أشباه الموصلات ، مثل فوهات السيراميك ، الذراعين الخزفيين ، إلخ.

كربيد السيليكون

إنه أسود ، ويحتوي على توصيل حراري عالي ، وقوة عالية ، وصلابة ، ووزن خفيف ، ومقاومة صدمة جيدة ، وغالبًا ما يتم استخدامها لإعداد أذرع الفراغ وأكواب شفط الفراغ.

نيتريد الألومنيوم

لديها توصيل حراري عالي ، ومعامل تمدد حراري يطابق السيليكون ، وفقدان عازل منخفض وعزل كهربائي ، ويمكن استخدامه لجعل ركائز تبديد الحرارة ، وفوهات السيراميك ، وما إلى ذلك ، إلخ.

نيتريد السيليكون

نقطة انصهار عالية ، صلابة عالية الفائقة ، القصور الكيميائي العالي ، معامل التمدد الحراري المنخفض ، الموصلية الحرارية العالية ، مقاومة الصدمة الحرارية الجيدة ، مقاومة عالية التأثير والقوة أقل من 1200 ℃ ، وغالبًا ما تستخدم لصنع ركائز السيراميك ، وأنابيب السيراميك ، إلخ.

أكسيد Yttrium

نقطة انصهار عالية ، والاستقرار الكيميائي والكيميائي الضوئي الجيد ، والتوصيل الحراري العالي ، ونقل الضوء الجيد ، وغالبًا ما يتم دمجه مع الألومينا لصنع النوافذ الخزفية.

أكسيد الزركونيوم

القوة الميكانيكية العالية ، ومقاومة درجة الحرارة العالية ، والمقاومة الحمضية والقلوية ، والعزل الجيد ، وفقا لمحتوى مختلف يمكن أن تصنع من منتجات السيراميك لأغراض مختلفة ، مثل ركائز الدوائر المتكاملة ، إلخ.

أنواع الأجزاء:

يتم استخدام أجزاء السيراميك شبه الموصل "جميع المستدير" مع وظائف مختلفة على نطاق واسع في أنواع مختلفة من معدات مفتاح أشباه الموصلات ، بما في ذلك ما يلي:

ذراع السيراميك أشباه الموصلات

يلعب دورًا في معدات أشباه الموصلات عند نقل الرقاقات ، ويحتاج إلى العمل في بيئة نظيفة فراغ. عادةً ما يتم تحضيرها مع ألومينا عالية النقاء أو كربيد السيليكون ، والألومينا فعالة من حيث التكلفة وتستخدم أكثر.

الركيزة الخزفية

يتم تطبيقها في حقول التغليف الإلكترونية المختلفة ، مثل الأجهزة الإلكترونية للطاقة ، وأشعة الليزر ، وما إلى ذلك ، وغالبًا ما يتم تحضيرها بمواد مثل الألومينا ونيتريد السيليكون.

فوهة السيراميك

في HDP-CVD ، تؤثر جودته على نقاء ومعدل تدفق غاز التفاعل. السيراميك من نيتريد الألومنيوم أكثر ملاءمة لمعدات العمليات المتقدمة بسبب أدائها الممتاز.

نافذة السيراميك

وهو مكون رئيسي من أشباه الموصلات. يمكن أن تكون مختومة الفراغ دون التأثير على تغلغل البلازما. وعادة ما يكون مصنوع من ألومينا عالية النقاء وأكسيد يتتريوم.

غطاء غرفة السيراميك

إنه عنصر رئيسي في معدات ترسب الأفلام الرقيقة ، وهو أمر بالغ الأهمية لضمان جودة الرقاقة وختم غرفة التفاعل.

فراغ السيراميك تشاك

يتم استخدامه لوضع وربط رقاقة السيليكون. إنه سيراميك مسامي مصنوع من مواد سيراميك.

عملية التحضير:

عملية التحضير لأجزاء السيراميك شبه الموصلات "الحرفية" معقدة ، بما في ذلك الخطوات التالية:

تحضير المسحوق

يجب إعادة معالجة المواد الخام ، ويتم الحصول على المسحوق الخام الذي يفي بالمتطلبات من خلال التضمين وطحن الكرة الميكانيكية وتجفيف الرش وغيرها من العمليات.

صب المسحوق

يتم استخدام الضغط الجاف ، والضغط المتساقط ، وصب الشريط ، وصبق الحقن ، وقولبة حقن الهلام وطرق أخرى بشكل شائع لجعل المسحوق في الجسم الأخضر الخزفي.

ارتفاع درجة الحرارة تلبيد

يتحول الجسم الأخضر الخزفي إلى جسم مطبوخ كثيف من خلال تلبيس الضغط الطبيعي ، وتلبيس الفراغ ، وتلبيس الغلاف الجوي وطرق أخرى.

الآلات الدقة

تتم معالجة الجسم المطبوخ من السيراميك الملبد باستخدام مخارط CNC ، المطاحن ، وما إلى ذلك لتحقيق الحجم والدقة المطلوبة.

فحص الجودة

يتم اختبار المظهر والحجم والمسامية والخشونة وغيرها من خصائص الأجزاء الخزفية لضمان جودة المنتج.

المعالجة السطحية

يتم تنظيف سطح المنتجات التي تمرر فحص الجودة ، ومزيد من المعالجة السطحية مطلوبة لذوي الاحتياجات الخاصة ، مثل رش القوس ، ورش البلازما ، إلخ.

Semicorex يوفر جودة عاليةأجزاء السيراميكفي أشباه الموصلات. إذا كان لديك أي استفسارات أو تحتاج إلى تفاصيل إضافية ، فالرجاء عدم التردد في الاتصال بنا.

اتصل بالهاتف # +86-13567891907

البريد الإلكتروني: sales@semicorex.com