سخانات السيراميك

في العملية الأمامية (FEOL) لتصنيع أشباه الموصلات ،رقاقةيجب إخضاعها لعلاجات العمليات المختلفة ، وخاصة التزويد بالسكان إلى درجة حرارة معينة ، وهناك متطلبات صارمة ، لأن توحيد درجة الحرارة له تأثير مهم للغاية على محصول المنتج ؛ في الوقت نفسه ، تحتاج معدات أشباه الموصلات إلى العمل في وجود الفراغ والبلازما والغازات الكيميائية ، والتي تتطلب استخدام سخانات السيراميك.سخانات السيراميكهي مكونات مهمة لمعدات ترسب الأفلام الرقيقة أشباه الموصلات. يتم استخدامها في غرفة العملية واتصل مباشرة بالرقاقة لحمل وتمكين الرقاقة من الحصول على درجة حرارة عملية مستقرة وموحدة والتفاعل مع دقة عالية على سطح الرقاقة لتوليد أفلام رقيقة.

نظرًا لأن معدات ترسب الأفلام الرقيقة التي تستخدمها سخانات السيراميك تتضمن درجات حرارة عالية ، يتم استخدام مواد سيراميك أساسًا على نيتريد الألومنيوم (ALN) بشكل عام. لأن نيتريد الألومنيوم له عزل كهربائي وموصلية حرارية ممتازة ؛ بالإضافة إلى ذلك ، فإن معامل التوسع الحراري الخاص به قريب من معامل السيليكون ، ويحتوي على مقاومة ممتازة للبلازما ، وهو مناسب جدًا للاستخدام كمكون لمعدات أشباه الموصلات.

تستخدم الخنازير الإلكتروستاتيكية (ESCS) بشكل أساسي في معدات الحفر ، وخاصة أكسيد الألومنيوم (AL2O3). نظرًا لأن Chuck الإلكتروستاتيكي نفسه يحتوي أيضًا على سخان ، مع الحفر الجاف كمثال ، من الضروري التحكم في الرقاقة في درجة حرارة محددة في نطاق -70 ℃ ~ 100 ℃ للحفاظ على خاصية حفر معينة. لذلك ، يجب تسخين الرقاقة أو تبديدها بواسطة تشاك الإلكتروستاتيكي للتحكم بدقة في درجة حرارة الويفر. بالإضافة إلى ذلك ، من أجل ضمان توحيد سطح الرقاقة ، يحتاج Chuck الإلكتروستاتيكي غالبًا إلى زيادة منطقة التحكم في درجة الحرارة للتحكم في درجة حرارة كل منطقة التحكم في درجة الحرارة بشكل منفصل لتحسين محصول العملية. بطبيعة الحال ، مع تطور التكنولوجيا ، بدأ التمييز بين سخانات السيراميك التقليدية والخطوط الإلكتروستاتيكية في أن يصبح غير واضح. تحتوي بعض سخانات السيراميكية على وظائف مزدوجة للتدفئة عالية الحرارة والامتصاص الإلكتروستاتيكي.

يتضمن سخان السيراميك قاعدة خزفية تحمل رقاقة وجسم دعم أسطواني يدعمها على ظهرها. داخل أو على سطح قاعدة السيراميك ، بالإضافة إلى عنصر المقاومة (طبقة التدفئة) للتدفئة ، يوجد أيضًا قطب تردد راديو (طبقة تردد الراديو). من أجل تحقيق التدفئة والتبريد السريع ، يجب أن يكون سمك القاعدة الخزفية نحيفًا ، لكن رقيقة جدًا سيقلل أيضًا من الصلابة. يتم تصنيع جسم الدعم للسخان عمومًا من مادة ذات معامل تمدد حراري مماثل لمعامل القاعدة ، لذلك غالبًا ما يكون جسم الدعم مصنوعًا أيضًا من نيتريد الألمنيوم. يتبنى المدفأة هيكلًا فريدًا لمفصل العمود (عمود) في القاع ، والذي يمكن أن يحمي المحطات والأسلاك من آثار البلازما والغازات الكيميائية المسببة للتآكل. يتم توفير مدخل غاز وتوصيل حراري وأنبوب المخرج في جسم الدعم لضمان درجة حرارة موحدة للسخان. يتم ربط القاعدة وجسم الدعم كيميائيًا بطبقة الترابط.

Semicorex يوفر جودة عاليةسخانات السيراميك. إذا كان لديك أي استفسارات أو تحتاج إلى تفاصيل إضافية ، فالرجاء عدم التردد في الاتصال بنا.

اتصل بالهاتف # +86-13567891907

البريد الإلكتروني: sales@semicorex.com