إدخال مادة الألومينا

السيراميك الألوميناالمكونات لها خصائص ممتازة مثل الصلابة العالية ، والقوة الميكانيكية العالية ، ومقاومة التآكل الفائق ، ومقاومة درجة الحرارة العالية ، والمقاومة العالية ، وأداء العزل الكهربائي الجيد. يمكنهم تلبية متطلبات الأداء المعقدة لتصنيع أشباه الموصلات في بيئات خاصة مثل الفراغ ودرجة الحرارة العالية. إنها تلعب دورًا لا يمكن الاستغناء عنه وهام في خطوط إنتاج تصنيع أشباه الموصلات. تغطي تطبيقاتها جميع معدات تصنيع أشباه الموصلات تقريبًا وهي مكونات رئيسية لمعدات إنتاج أشباه الموصلات. مع التطوير المستمر لصناعة أشباه الموصلات ، ستصبح أهمية مكونات السيراميك للألومينا في السلسلة الصناعية أكثر بروزًا.

مع انخفاض حجم ميزة الرقاقة ، فإن معدات أشباه الموصلات لها متطلبات أكثر صرامة على المكونات ، ويجب أن تكون كثافتها ، وتوحيدها ، ومقاومة التآكل ، وما إلى ذلك. في السنوات الأخيرة ، طور العلماء المحليون والأجانب مجموعة متنوعة من العمليات الجديدة لتحسين الظروف الملبدة للمواد الخزفية للألومينا ، حتى يتمكنوا من تحقيق تكثيف سريع للمواد في درجات حرارة تلبد أقل ، مثل الانتهاك ذاتي ذاتيًا ، وتلبيث بارد ، وتذبذب التلبد. من بينها ، تلبد البرد هو إضافة مذيب عابر إلى المسحوق وتطبيق ضغط كبير (350 ~ 500 ميجا باسكال) لتعزيز إعادة الترتيب والانتشار بين الجسيمات ، بحيث يمكن أن يتم تثبيت مسحوق السيراميك وتكثيفه عند درجة حرارة أقل (120 ~ 300 ℃) ووقت أقصر.

في الوقت الحاضر ، تطورت عملية تصنيع الدوائر المتكاملة العالمية لعملية أكثر تقدماً على مستوى 3 نانومتر. يجب تطوير وترقية معدات أشباه الموصلات ومكونات الدقة في أشباه الموصلات بشكل مستمر ، ويجب إجراء تحسينات في العملية لتلبية احتياجات التصنيع في اتجاه مجرى النهر. بمجرد تحديث معدات أشباه الموصلات ، ستتغير المتطلبات المحددة للمعدات الجديدة للمكونات بشكل متزامن. مع تطوير تقنية أشباه الموصلات ، تزداد متطلبات الأداء لمكونات السيراميك للألومينا أعلى وأعلى ، بما في ذلك مقاومة ارتداء أعلى ، ومقاومة ارتفاع درجة الحرارة ، وعزل كهربائي أفضل. تميل اتجاهات الصناعة إلى تطوير نقاء أعلى ، ومواد مسحوق الألومينا الأكثر روعة ، واعتماد تقنيات التحضير المتقدمة.

السيراميك ألومينالديك متطلبات نقاء عالية جدًا عند استخدامها في مجال أشباه الموصلات ، بشكل عام أكبر من 99.5 ٪. في حقل أشباه الموصلات ، تعد أجزاء السيراميك الألومينا واحدة من الأجزاء الرئيسية من معدات أشباه الموصلات. يتم استخدام معظمهم في غرف أقرب إلى الرقاقة. في معدات أشباه الموصلات ، يتم تصنيفها عن طريق الاستخدام وتتم تقسيمها بشكل أساسي إلى أسطوانات حلقية ، وأدلة تدفق الهواء ، وحشوات ثابتة ، ووحدات ، ووحدات ، وما إلى ذلك ، إلخ.

في عملية الحفر ، من أجل تقليل تلوث الرقاقة أثناء حفر البلازما ، يتم اختيار الطلاءات ألومينا عالية النقاء أو السيراميك الألومينا مع مقاومة تآكل قوية كمواد واقية لغرفة الحفر وبطانة الغرفة.

في عملية تنظيف البلازما ، يتم استخدام الغازات المسببة للتآكل التي تحتوي على عناصر هالوجين شديدة التفاعل مثل الفلور والكلور. عادةً ما تكون فوهة الغاز مصنوعة من السيراميك الألومينا ، والتي يلزم وجود مقاومة عالية للبلازما ، وقوة عازلة ، ومقاومة قوية للتآكل لغازات العملية والمنتجات الثانوية. في الوقت نفسه ، يتم استخدام بنية ثقب الدقة الداخلية للتحكم بدقة في تدفق الغاز.

في عملية تصنيع أشباه الموصلات ، قد يخضع الرقاقة معالجة عالية الحرارة ، مثل الحفر ، وزرع أيون ، وما إلى ذلك. كحامل لانتقال الويفر ، يمكن لحامل الرقاقة ألومينا أن يضمن استقرار وسلامة الويفر أثناء عملية الإرسال. تتمتع حامل رقاقة الألومينا بتوصيل حراري جيد ويمكن أن يتفرق بشكل فعال وتصدير الحرارة الناتجة عن الرقاقة ، وبالتالي حماية الرقاقة من التلف الحراري.

في التعامل مع الرقائق ، سيتم استخدام ذراع روبوتية من السيراميك المصنوع من السيراميك الألومينا. سيتم تثبيته على روبوت معالجة الرقاقة ، وهو ما يعادل يد الروبوت. وهي مسؤولة عن حمل الرقاقة إلى الموقع المحدد ، وسطحه على اتصال مباشر مع الرقاقة. نظرًا لأن الرقاقات عرضة للغاية للتلوث بواسطة جزيئات أخرى ، فإنها يتم تنفيذها عمومًا في بيئة فراغ. في هذه البيئة ، تجد الأسلحة الآلية لمعظم المواد عمومًا صعوبة في إكمال العمل. يجب أن تكون المواد المستخدمة لجعل الأسلحة الآلية مقاومة لدرجات حرارة عالية ، ومقاومة للارتداء ، ولديها صلابة عالية. نظرًا لمتطلبات ظروف العمل ، فهي مصنوعة عمومًا من مواد السيرامينا ذات الألومينا العالية للغاية ، ويجب ضمان دقة وخشونة الأجزاء الخزفية.

Semicorex يوفر جودة عاليةألومينا أجزاء السيراميكفي أشباه الموصلات ، بما في ذلك الطلاء SIC وطلاء TAC. إذا كان لديك أي استفسارات أو تحتاج إلى تفاصيل إضافية ، فالرجاء عدم التردد في الاتصال بنا.

اتصل بالهاتف # +86-13567891907

البريد الإلكتروني: sales@semicorex.com