طريقة تخليق مسحوق كربيد السيليكون عالي النقاء (SIC)

في الوقت الحاضر ، طرق تخليقمسحوق كذا عالي الرقملتشمل البلورات المفردة بشكل أساسي: طريقة الأمراض القلبية الوعائية وتحسين طريقة توليف الانتقاء الذاتي (المعروفة أيضًا باسم طريقة توليف درجة الحرارة العالية أو طريقة الاحتراق). من بينها ، يشمل مصدر SI لطريقة CVD لتوليف مسحوق SIC عمومًا سيلان والسيليكون رباعي كلوريد ، وما إلى ذلك ، ويستخدم مصدر C عمومًا رابع كلوريد الكربون والميثان والإيثيلين والأسيتيلين والبروبان ، وما إلى ذلك ، في حين أن ثنائي ميثيل كلوروسيلان وترام ميثيل سيلان يمكن أن يوفروا مصدر Si و C في نفس الوقت.

طريقة التوليف السابقة للتقاط الذاتية هي طريقة لتوليف المواد عن طريق إشعال الفراغ المتفاعل مع مصدر الحرارة الخارجي ، ثم استخدام حرارة التفاعل الكيميائي للمادة نفسها لجعل عملية التفاعل الكيميائي اللاحق تستمر تلقائيًا. تستخدم معظم هذه الطريقة مسحوق السيليكون والكربون الأسود كمواد خام ، ويضيف المنشطات الأخرى للتفاعل مباشرة بسرعة كبيرة عند 1000-1150 ℃ لتوليد مسحوق كذا. سيؤثر إدخال المنشطات حتماً على نقاء ونوعية المنتجات المتوحنة. لذلك ، اقترح العديد من الباحثين تحسين طريقة توليف الذاتي المحسنة على هذا الأساس. يتمثل التحسن بشكل أساسي في تجنب إدخال المنشطات ، ولضمان إجراء تفاعل التوليف بشكل مستمر وفعال عن طريق زيادة درجة حرارة التوليف وتزويد التسخين بشكل مستمر.

مع زيادة درجة حرارة تفاعل توليف كربيد السيليكون ، سوف يغمق لون المسحوق المتردد تدريجياً. والسبب المحتمل هو أن درجة الحرارة المرتفعة للغاية ستؤدي إلى تحلل SIC ، وقد يكون سبب ظلال اللون هو تطابق الكثير من SI في المسحوق.

بالإضافة إلى ذلك ، عندما تكون درجة حرارة التوليف 1920 ℃ ، يكون الشكل البلوري β-SIC مصنوع جيدًا نسبيًا. ومع ذلك ، عندما تكون درجة حرارة التوليف أكبر من 2000 ℃ ، تزداد نسبة C في المنتج المصنوع بشكل كبير ، مما يشير إلى أن المرحلة المادية للمنتج المصنوع تتأثر بدرجة حرارة التوليف.

ووجدت التجربة أيضًا أنه عندما تزداد درجة حرارة التوليف في نطاق درجة حرارة معينة ، يزداد حجم الجسيمات لمسحوق SIC المصنوع أيضًا. ومع ذلك ، عندما تستمر درجة حرارة التوليف في الارتفاع وتتجاوز نطاق درجة حرارة معينة ، فإن حجم الجسيمات لمسحوق SIC المتوليف سوف ينخفض تدريجياً. عندما تكون درجة حرارة التوليف أعلى من 2000 ℃ ، يميل حجم الجسيمات لمسحوق SIC المصنفة إلى قيمة ثابتة.

عروض semicorexمسحوق كربيد السيليكون عالي الجودةفي صناعة أشباه الموصلات. إذا كان لديك أي استفسارات أو تحتاج إلى تفاصيل إضافية ، فالرجاء عدم التردد في الاتصال بنا.

اتصل بالهاتف # +86-13567891907

البريد الإلكتروني: sales@semicorex.com