سخانات الجرافيت المغلفة الموصلة

السخان الجرافيت المغلفة الموصلهو منتج جديد مصمم لمعالجة أشباه الموصلات عالية درجة الحرارة والأنظمة الحرارية الفراغية الأخرى. يستخدم الاستقرار الحراري الجيد للجرافيت المرتفع نقاء وخصائص السطح الممتازة لطلاء كربيد السيليكون (SIC). يتم تمييز سخان الجرافيت المغلفة الموصل من خلال طبقة SIC المزخرفة بالنيتروجين والتي توفر الموصلية السطحية المحسنة بشكل كبير ، مما يجعلها مناسبة بشكل خاص للتطبيقات التي تحتاج إلى التحكم وحتى التدفئة بأداء كهربائي كبير.

تم بناء السخان بركيزة جرافيت عالية القوة ، والتي تعمل كموصل هيكلي وحراري أساسي. تم اختيار الجرافيت ، على وجه التحديد بالنظر إلى مستوياته العالية من الموصلية الحرارية ، ومعامل التمدد الحراري المنخفض ومرونة الصدمة الحرارية. هذه الخصائص تجعل الجرافيت مادة أساسية مناسبة في تطبيقات عملية درجة الحرارة العالية حيث قد تكون هناك دورات تسخين وتبريد سريعة. ومع ذلك ، فإن الجرافيت البكر نفسه يتفاعل كيميائيًا في أجواء معينة ويمكن أن يعاني من تلف السطح أو تدهور أو انبعاث الجسيمات أو النقل أثناء الاستخدام الممتد ، وخاصة في بيئات غرفة نظافة أشباه الموصلات.

للتغلب على هذه القيود ، يتم طلاء جزء الجرافيت بطبقة سميكة وعالية النقاء. يخدم طلاء SIC وظائف متعددة: فهو يوفر مستوى من الحماية ضد الأكسدة والتآكل الكيميائي ، فهو يوفر سطحًا صعبًا ومقاومًا للغاية ، ويضمن التوافق مع معايير الفراغ وغرفة التنظيف. يتمتع SIC بسمعة طيبة في الصلابة الشديدة ، والتوصيل الحراري العالي ، والختام الكيميائي ؛ لهذا السبب ، فهي مادة طلاء ممتازة للمكونات الحرارية عالية الأداء.

الابتكار الفريد لهذا المنتج هو المنشطات النيتروجينية لطلاء SIC. خلال عملية ترسب البخار الكيميائي (CVD) ، يتم دمج ذرات النيتروجين في شبكة SIC ، مما ينتج عن شركات النقل الحرة ، والتي يمكن أن تقلل بشكل كبير من مقاومة السطح ، وبالتالي إنشاء طبقة سطح موصلة وتسمح للتيار بالتمرير مباشرة ، بدلاً من استخدام نقطة وصول ، من خلال طلاء SIC ، مما يتيح مكون الجرافيت بأكمله يعمل على تشغيله.

كلاسيكيالطلاء كذاهي عازلة ، والتي تحدهم حقًا في نطاق التطبيقات الكهربائية النشطة. وعلى العكس من ذلك ، فإن طبقة SIC المزخرفة بالنيتروجين على المدفأة لها مقاومة منخفضة للغاية مع الحفاظ على جميع الفوائد الميكانيكية والكيميائية لـ SIC الكلاسيكية. توفر الطبقة الموصلة توحيدًا الحالي جيدًا ويقلل من فقدان الطاقة مع تحسين التوزيع الحراري على سطح المدفأة. إنه مثالي بشكل خاص لتطبيقات التدفئة الدقيقة في ظل الظروف غالبًا ما تكون مرتبطة بالمفاعلات الفوقية ، وأفران الانتشار ، ومعدات المعالجة الحرارية السريعة (RTP).

تم تصميم هندسة السخان ، التي عادة ما تكون دوامة أو سربنتين كما هو موضح في الصورة ، وتحسينها بقصد إنتاج طاقة الخرج الحرارية الموحدة والتحميل الكهربائي الموحد. من خلال التصميم المتكامل للجرافيت وطلاء SIC الموصل ، يمكن إجراء جهات اتصال كهربائية مباشرة على السطح المطلي مما يلغي الحاجة إلى أي أقطاب إضافية أو اتصال معدني. هذا يقلل من مخاطر التلوث ويؤدي إلى مجموعة أبسط. وبالتالي ، تم تحسين الكفاءة الكلية.

الفوائد الرئيسية للتوصيلسخان الجرافيت المغلفة كذايشمل:

الموصلية الكهربائية الممتازة بسبب تعاطي المنشطات النيتروجين ، مما يتيح التدفق الحالي المباشر والتدفئة المقاومة الفعالة.

توحيد حراري متفوق مع التحكم في درجة الحرارة الدقيقة على مساحة السطح بأكملها.

مقاومة كيميائية عالية ، وخاصة في البيئات المآمجة مثل الهيدروجين أو الأمونيا أو الأجواء الغنية بالهالوجين.

الحد الأدنى من توليد الجسيمات ، وتلبية متطلبات النقاء الصارمة لتصنيع أشباه الموصلات.

عمر الخدمة الممتدة ، بسبب المتانة الميكانيكية ومقاومة الصدمة الحرارية لكل من جوهر الجرافيت وطلاء كذا.

تمتد تطبيقات هذا المدفأة عبر عدد من صناعات التكنولوجيا المتقدمة. سيجد السخان مكانًا في عمليات تصنيع أشباه الموصلات مثل ترسب البخار الكيميائي (CVD) ، و Epitaxy الجزيئي (MBE) ، واللباقة الصلب ، حيث يكون التحكم الدقيق في درجة الحرارة ونقاء المواد أمرًا بالغ الأهمية. يمكن أيضًا استخدام سخان الجرافيت المغطى بـ SIC في الإنتاج الكهروضوئي ، وتلبيس السيراميك المتقدم ، وفي العمليات الحرارية الأخرى التي يلزم فيها الأداء العالي والمتانة والسخانات القوية.

باختصار ، يعد سخان الجرافيت المغطى بالكيك المغلفة بمثابة تقدم مثير للإعجاب في تطوير المكونات الحرارية. باستخدام طلاء SIC ذو النيتروجين ، قمنا بتطوير منتج حراري فعال ، يجمع بنجاح بين الاستقرار الكيميائي لطلاء SIC والتوصيل الكهربائي. وبالتالي ، فإن إنتاج عملية حرارية أكثر كفاءة وأنظف وأكثر موثوقية للتطبيقات الصناعية الأكثر تطلبًا. تواجه صناعات أشباه الموصلات والمواد تغييرًا مستمرًا وستصبح المواد الهجينة من هذا النوع أهمية متزايدة في تمكين التقنيات الأكثر تقدماً في المستقبل.

Semicorex يوفر جودة عاليةسخانات الجرافيت مع الطلاءمنتجات. إذا كان لديك أي استفسارات أو تحتاج إلى تفاصيل إضافية ، فالرجاء عدم التردد في الاتصال بنا.

اتصل بالهاتف # +86-13567891907

البريد الإلكتروني: sales@semicorex.com