مكونات السيراميك الرئيسية في تصنيع أشباه الموصلات

تتكون معدات أشباه الموصلات من غرف وغرف ، ويتم استخدام معظم السيراميك في غرف أقرب إلى الرقائق. الأجزاء الخزفية ، والمكونات المهمة المستخدمة على نطاق واسع في تجاويف المعدات الأساسية ، هي مكونات معدات أشباه الموصلات المصنعة من خلال المعالجة الدقيقة باستخدام مواد خزفية متقدمة مثل السيراميك الألومينا ، السيراميك نيتريد الألومنيوم ، والسيراميك السيليكون. المواد الخزفية المتقدمة لها أداء ممتاز في القوة والدقة والخصائص الكهربائية ومقاومة التآكل ، ويمكن أن تلبي متطلبات الأداء المعقدة لتصنيع أشباه الموصلات في بيئات خاصة مثل الفراغ ودرجة الحرارة العالية. تُستخدم مكونات المواد السيرامية المتقدمة لمعدات أشباه الموصلات بشكل أساسي في الغرف ، وبعضها على اتصال مباشر بالرقاقة. فهي مكونات دقة رئيسية في تصنيع الدوائر المتكاملة ويمكن تقسيمها إلى خمس فئات: الأسطوانات الحلقية ، وأدلة تدفق الهواء ، وأنواع الحمل والثابتة ، وحشيات القابض ، والوحدات النمطية. تتحدث هذه المقالة بشكل أساسي عن الفئة الأولى: الأسطوانات الحلقية.

الخواتم والأسطوانات

1. حلقات مويير: تستخدم بشكل رئيسي في معدات ترسب الأفلام الرقيقة. يقع داخل غرفة العملية ، وتواصل على اتصال مباشر مع الرقاقة ، وتعزيز إرشادات الغاز ، والعزل ، ومقاومة التآكل.

2. حلقات الحراسة: تستخدم بشكل رئيسي في معدات ترسب الأفلام الرقيقة والطول. تقع داخل غرفة العملية ، وهي تحمي مكونات الوحدة الرئيسية مثل تشاك الإلكتروستاتيكي وسخان السيراميك.

3. حلقات الحافة: تستخدم بشكل رئيسي في معدات ترسب الأفلام الرقيقة والبش. تقع داخل غرفة العملية ، فهي تستقر وتمنع البلازما من الهروب.

4. تركيز حلقات: تستخدم بشكل رئيسي في معدات ترسب الأفلام الرقيقة ، معدات ETCHER ، ومعدات زراعة الأيونات. تقع داخل غرفة العملية ، وهي أقل من 20 ملم من الرقاقة ، مع التركيز على البلازما داخل الغرفة.

5. أغطية واقية: تستخدم بشكل رئيسي في معدات ترسب الأفلام الرقيقة والطول. تقع داخل غرفة العملية ، ويختمون وامتصاص بقايا العملية.

6. حلقات التأريض: تستخدم بشكل رئيسي في معدات ترسب الأفلام الرقيقة والطول. تقع خارج الغرفة ، فهي تأمين ودعم المكونات.

7. بطانة: تستخدم في المقام الأول في etchers ، الموجودة داخل غرفة العملية ، ويعزز إرشادات الغاز ويضمن تكوين فيلم أكثر اتساقًا.

8. أسطوانة العزل: تستخدم في المقام الأول في معدات ترسيب الأفلام الرقيقة ، والأحتراب ، و intrants الأيوني ، ويقع داخل غرفة العملية ويحسن أداء التحكم في درجة حرارة الجهاز.

9. أنبوب الحماية الحرارية: يستخدم في المقام الأول في العديد من المعدات الأمامية لأشباه الموصلات ، ويقع خارج الغرفة ويحمي المزدوجات الحرارية في درجة حرارة مستقرة نسبيًا وبيئة كيميائية.

Semicorex يوفر جودة عاليةمنتجات السيراميكفي أشباه الموصلات. إذا كان لديك أي استفسارات أو تحتاج إلى تفاصيل إضافية ، فالرجاء عدم التردد في الاتصال بنا.

اتصل بالهاتف # +86-13567891907

البريد الإلكتروني: sales@semicorex.com