المعالجة السطحية للظرف الكهروستاتيكي المتطور

التشاك كهرباءيتولى وظائف متعددة مثل التفريغ الكهروستاتيكي الموحد والتوصيل الحراري وامتصاص الرقاقة وتثبيتها في مجال تصنيع أشباه الموصلات. تتمثل إحدى الوظائف الأساسية لـ ESC في امتصاص الرقائق بشكل ثابت في ظل ظروف التشغيل القاسية مثل الفراغ العالي والبلازما القوية ونطاق درجات الحرارة الواسع.

إن ما يحدد أدائها حقًا ليس الهيكل الخارجي أو صيغة المادة الأساسية، بل عملية معالجة السطح. بدون معالجة سطحية احترافية، ستتم مواجهة المشكلات التالية أثناء التشغيل:

1. تآكل البلازما والتلوث بالأيونات المعدنية

الأسطح الخزفية غير المحمية معرضة لتآكل البلازما في إعدادات عملية الحفر أو الأمراض القلبية الوعائية. يمكن أن يؤدي هذا النوع من التآكل بشكل مباشر إلى إطلاق أيونات معدنية أو تساقط جزيئات السيراميك، وبالتالي تلويث الرقاقة.

2. التوصيل الحراري غير المتكافئ وتشوه الاعوجاج

تؤدي الأسطح الخشنة أو المعالجة السيئة إلى اتصال غير متساو بين الرقاقة والطبقةخروجمما يعيق توصيل الحرارة ويؤثر على تجانس القرص المضغوط.

3. الامتزاز الكهروستاتيكي غير المستقر

يمكن أن يؤدي التحكم غير الدقيق في أداء عزل السطح أو موصلية ظرف الظرف الكهروستاتيكي بسهولة إلى قوة امتصاص غير كافية أو امتزاز مفرط، مما يؤثر في النهاية بشكل مباشر على إنتاجية معالجة الرقاقة.

غالبًا ما يعتمد سطح المجالس الاقتصادية والاجتماعية المتطورة تصميمًا مركبًا متعدد الطبقات، وينظم بدقة المجالات الوظيفية من خلال الطلاء لتحقيق تكامل حقيقي عالي الأداء.

تقنيات المعالجة السطحية الشائعة للمجالس الاقتصادية والاجتماعية المتطورة:

1. الطلاءات غير اللاصقة الفلورية (مثل PTFE وPFA)

هذا النوع من الطلاء مناسب بشكل خاص لبيئات المعالجة ذات درجة الحرارة المنخفضة بسبب انخفاض الطاقة الحرة السطحية، والتي تمنع بشكل فعال امتصاص بقايا مقاوم الضوء.

2. طلاءات الكربون الشبيهة بالألماس (DLC).

مع الصلابة العالية، ومقاومة البلازما، ومعامل الاحتكاك المنخفض، فهي مناسبة لتطبيقات مقاومة التآكل وفصل الجسيمات في معدات الحفر.

3. أفلام السيراميك الموصلة بتقنية PVD (مثل CrSiN وTiN)

يمكن لهذا النوع من الطلاء بناء مسار موصل مستقر في منطقة معينة، وبالتالي تجنب مشكلة تراكم الشحنات المحلية بشكل فعال من خلال التحكم الدقيق في التفريغ الموحد للشحنات السطحية.

4. الطلاءات الموصلة الحرارية المركبة (مثل مسحوق الماس والطلاء الهجين الفلوروبوليمر)

يجمع هذا النوع من الطلاء بين الصفات غير اللاصقة والتوصيل الحراري، وأدائه العام يمكن أن يتطابق بدقة مع متطلبات تطبيق التحكم الحراري عالي الدقة ESC.