ما هي وظيفة حلقات التركيز؟

حلقات التركيز هي المكونات الأساسية لضمان توحيد واستقرار عمليات حفر أشباه الموصلات. من خلال التحكم الدقيق في المجالات الكهربائية والحرارية، يمكن لحلقات التركيز تركيز البلازما على سطح الرقاقة، مما يضمن نتائج نقش متسقة عبر جميع المواقع على الرقاقة.

وظائف حلقات التركيز

1. تحسين التوحيد النقش

في عملية النقش، يمكن لحلقات التركيز تركيز البلازما علىرقاقةالسطح، والذي يضمن بشكل فعال كثافة البلازما الموحدة، وزاوية القصف الأيوني، ومستويات الطاقة عبر كل من حافة الرقاقة والمناطق المركزية. إنها تصحح توزيع المجال الكهربائي عند حافة الرقاقة، مما يقلل من معدل النقش، والأبعاد الحرجة، والتغيرات المورفولوجية الناتجة عن تأثيرات الحافة، وبالتالي ضمان اتساق النقش عبر سطح الرقاقة بالكامل. إذا تم ارتداء حلقة التركيز بشكل مفرط أو لم تكن هناك حلقة بؤرية، فسوف تنتشر البلازما من حافة الرقاقة، مما يؤدي في النهاية إلى انحرافات غير مطابقة في عرض الخط بين مناطق الحافة والوسط.

2. حماية تشاك كهرباء

عادة ما يتم تركيب حلقات التركيز خارج سطح حامل الرقاقة للخراطيش الكهروستاتيكية، وتتعرض مباشرة لقصف البلازما والتآكل. يعمل إعداد الدفعة هذا كحاجز مادي لمنع البلازما من الاتصال بالخراطيش الكهروستاتيكية أثناء عملية النقش، مما يقلل بشكل كبير من خطر تلف البلازما. يمكن لحلقات التركيز أيضًا أن تمنع المنتجات الثانوية المتولدة أثناء عملية الحفر من الالتصاق بالظرف الكهروستاتيكي، وبالتالي تجنب تدهور الأداء الناتج عن تلوث ظرف الظرف والانسداد. يؤدي هذا إلى إطالة دورة صيانة ظرف الظغط الكهروستاتيكية وعمرها بشكل كبير، مما يقلل من تكاليف صيانة المعدات واستبدالها.

عادة ما تكون حلقات التركيز مصنوعة من مواد عالية النقاءكوارتز, السيليكونوكربيد السيليكونمواد. بفضل أدائها الشامل الممتاز، أصبحت مواد كربيد السيليكون تدريجيًا الخيار السائد لعمليات الحفر المتطورة. كمورد موثوق لحلقات التركيز لأشباه الموصلات في الصين، تقدم Semicorex جودة عاليةحلقات التركيز من كربيد السيليكونبأحجام مختلفة لتتناسب مع المتطلبات المختلفة لمعدات الحفر. Semicorex ترحب باستفساراتكم ومشترياتكم في أي وقت.