ما هو نظام MOCVD؟

MOCVD ، المعروف باسم ترسيب البخار الكيميائي العضوي المعدني (MOCVD) ، هو تقنية لزراعة أغشية رقيقة من أشباه الموصلات على الركيزة. باستخدام MOCVD ، يمكن ترسيب العديد من طبقات النانو بدقة كبيرة ، ولكل منها سمك متحكم به ، لتشكيل مواد ذات خصائص بصرية وكهربائية محددة.

نظام MOCVD هو نوع من أنظمة ترسيب البخار الكيميائي (CVD) الذي يستخدم السلائف المعدنية العضوية لإيداع أغشية رقيقة من المواد على الركيزة. يتكون النظام من وعاء المفاعل ونظام توصيل الغاز وحامل الركيزة ونظام التحكم في درجة الحرارة. يتم إدخال المواد الأولية المعدنية العضوية في وعاء المفاعل مع الغاز الحامل ، ويتم التحكم في درجة الحرارة بعناية لضمان نمو غشاء رقيق عالي الجودة.

استخدام MOCVD له مزايا عديدة مقارنة بتقنيات الترسيب الأخرى. ميزة واحدة هي أنه يسمح بترسيب المواد المعقدة مع التحكم الدقيق في سمك وتكوين الأغشية الرقيقة. هذا مهم بشكل خاص لإنتاج أجهزة أشباه الموصلات عالية الأداء ، حيث يمكن أن يكون لخصائص المواد للأغشية الرقيقة تأثير كبير على أداء الجهاز.

ميزة أخرى لـ MOCVD هي أنه يمكن استخدامه لترسيب أغشية رقيقة على مجموعة متنوعة من الركائز ، بما في ذلك السيليكون والياقوت وزرنيخيد الغاليوم. هذه المرونة تجعلها عملية أساسية في تصنيع مجموعة واسعة من أجهزة أشباه الموصلات ، من رقائق الكمبيوتر إلى مصابيح LED.

تُستخدم أنظمة MOCVD على نطاق واسع في صناعة أشباه الموصلات ، وقد لعبت دورًا أساسيًا في تطوير العديد من التقنيات المتقدمة. على سبيل المثال ، تم استخدام MOCVD لإنتاج مصابيح LED عالية الكفاءة لتطبيقات الإضاءة والعرض ، فضلاً عن الخلايا الشمسية عالية الأداء للتطبيقات الكهروضوئية.