ما هو فرن الانتشار؟

فرن الانتشار عبارة عن قطعة متخصصة من المعدات المستخدمة لإدخال الشوائب إلى رقائق أشباه الموصلات بطريقة خاضعة للرقابة. هذه الشوائب، التي تسمى إشابات، تغير الخواص الكهربائية لأشباه الموصلات، مما يسمح بتصنيع أنواع مختلفة من المكونات الإلكترونية. تعد عملية الانتشار الخاضعة للرقابة هذه أمرًا بالغ الأهمية لإنتاج الترانزستورات والثنائيات والدوائر المتكاملة.

تتكون أفران الانتشار من عدة مكونات رئيسية، بما في ذلك أنابيب المعالجة، وعناصر التسخين، وآليات سحب الهواء، وأنظمة التحكم. يعمل أنبوب العملية كغرفة حيث يتم وضع الرقاقة. يمكن أن يتحمل درجات الحرارة العالية والغازات المسببة للتآكل، مما يجعله مادة مثالية لهذا التطبيق.

توفر عناصر التسخين الحرارة اللازمة لرفع درجة حرارة الفرن إلى المستوى المطلوب. تصل درجات الحرارة في أفران الانتشار عادةً إلى 1200 درجة مئوية. من أجل ضمان تسخين موحد، غالبًا ما يتم ترتيب عناصر التسخين في شكل حلزوني.

يتم استخدام آلية مدخل الغاز لإدخال الغاز المشابه إلى الفرن. تشمل المنشطات الشائعة البورون والفوسفور والزرنيخ، اعتمادًا على الخواص الكهربائية المطلوبة لمنتج أشباه الموصلات النهائي. ينظم نظام التحكم تدفق الغاز المنشط، مع الحفاظ على التحكم الدقيق في عملية الانتشار.

تستخدم أفران الانتشار على نطاق واسع في صناعة أشباه الموصلات. يتم استخدامها في عملية المنشطات التي تخلق وصلات pn في الترانزستورات والثنائيات. تلعب أفران الانتشار أيضًا دورًا حيويًا في تصنيع الدوائر المتكاملة، حيث يتم تكديس طبقات متعددة من أشباه الموصلات المختلفة ومترابطة.

علاوة على ذلك، تعد أفران الانتشار ضرورية لتصنيع أجهزة أشباه الموصلات المتقدمة مثل MOSFETs (ترانزستورات التأثير الميداني لأشباه الموصلات بأكسيد المعدن) والترانزستورات ثنائية القطب ذات البوابة المعزولة (IGBTs). تعتبر هذه الأجهزة بالغة الأهمية في مجال إلكترونيات الطاقة وتكنولوجيا الطاقة المتجددة، حيث تعد أفران الانتشار جزءًا لا يتجزأ من إنتاجها.

تعد أفران الانتشار أدوات مهمة في تصنيع أشباه الموصلات، مما يسمح بإدخال المواد المشابهة بشكل متحكم في رقائق أشباه الموصلات. تعتبر هذه الأفران جزءا لا يتجزأ من إنتاج أجهزة أشباه الموصلات المختلفة مثل الترانزستورات والصمامات الثنائية والدوائر المتكاملة. مع تقدم التكنولوجيا، تستمر قدرات أفران الانتشار في الزيادة، مما يسمح بعمليات تصنيع أكثر دقة وموثوقية. وتعتمد صناعة أشباه الموصلات بشكل كبير على هذه الأفران لتلبية الطلب المتزايد على المعدات الإلكترونية المتقدمة.

تقوم شركة Semicorex بتصنيع أجزاء SiC مخصصة لأفران الانتشار. إذا كانت لديك أي استفسارات أو كنت بحاجة إلى تفاصيل إضافية، فلا تتردد في الاتصال بنا.

هاتف الاتصال رقم +86-13567891907

البريد الإلكتروني: sales@semicorex.com