معدات LPE

في مجال تصنيع أجهزة أشباه الموصلات، يعد التحكم الدقيق في نمو البلورات أمرًا بالغ الأهمية لتحقيق أجهزة عالية الجودة وموثوقة. إحدى التقنيات التي لعبت دورًا محوريًا في هذا المجال هي الطور السائل (LPE).

المبادئ الأساسية لـ LPE:

يشير Epitaxy بشكل عام إلى نمو طبقة بلورية على ركيزة ذات بنية شبكية مماثلة. LPE، وهي تقنية الفوقي البارزة، تنطوي على استخدام محلول مفرط التشبع من المادة المراد زراعتها. يتم ملامسة الركيزة، التي تكون عادةً بلورية واحدة، مع هذا المحلول لمدة محددة. عندما تكون ثوابت الشبكة للركيزة والمادة المراد زراعتها متطابقة بشكل وثيق، تترسب المادة على الركيزة مع الحفاظ على الجودة البلورية. تؤدي هذه العملية إلى تكوين طبقة فوقية متطابقة.

معدات LPE:

لقد تم تطوير عدة أنواع من أجهزة النمو من أجل LPE، ويقدم كل منها مزايا فريدة لتطبيقات محددة:

فرن البقشيش:

يتم وضع الركيزة في أحد طرفي قارب الجرافيت داخل أنبوب كوارتز.

يقع الحل في الطرف الآخر من قارب الجرافيت.

تتحكم المزدوجة الحرارية المتصلة بالقارب في درجة حرارة الفرن.

تدفق الهيدروجين عبر النظام يمنع الأكسدة.

يتم إمالة الفرن ببطء حتى يتلامس المحلول مع الركيزة.

بعد الوصول إلى درجة الحرارة المطلوبة ونمو الطبقة الفوقية، يتم إرجاع الفرن إلى موضعه الأصلي.

الفرن العمودي:

في هذا التكوين، يتم غمس الركيزة في المحلول.

توفر هذه الطريقة طريقة بديلة لفرن القلاب، مما يحقق الاتصال الضروري بين الركيزة والمحلول.

فرن متعدد الحاويات:

يتم الاحتفاظ بالحلول المتعددة في صناديق متتالية في هذا الجهاز.

يمكن جعل الركيزة تتلامس مع محاليل مختلفة، مما يسمح بالنمو المتسلسل لعدة طبقات الفوقي.

يتم استخدام هذا النوع من الأفران على نطاق واسع لتصنيع الهياكل المعقدة مثل تلك اللازمة لأجهزة الليزر.

تطبيقات LPE:

منذ عرضه الأولي في عام 1963، تم استخدام LPE بنجاح في تصنيع العديد من أجهزة أشباه الموصلات المركبة III-V. وتشمل هذه الليزر الحقن، والثنائيات الباعثة للضوء، والكاشفات الضوئية، والخلايا الشمسية، والترانزستورات ثنائية القطب، والترانزستورات ذات التأثير الميداني. إن تعدد استخداماته وقدرته على إنتاج طبقات فوقية عالية الجودة ومتطابقة مع الشبكة يجعل من LPE حجر الزاوية في تطوير تقنيات أشباه الموصلات المتقدمة.

يقف Liquid-Phase Epitaxy بمثابة شهادة على البراعة والدقة المطلوبة في تصنيع أجهزة أشباه الموصلات. من خلال فهم مبادئ النمو البلوري وتسخير قدرات أجهزة LPE، تمكن الباحثون والمهندسون من إنشاء أجهزة متطورة لأشباه الموصلات مع تطبيقات تتراوح من الاتصالات إلى الطاقة المتجددة. مع استمرار تقدم التكنولوجيا، يظل LPE أداة حيوية في ترسانة التقنيات التي تشكل مستقبل تكنولوجيا أشباه الموصلات.

تقدم Semicorex جودة عاليةأجزاء CVD SiC لـ LPEمع خدمة مخصصة. إذا كانت لديك أي استفسارات أو كنت بحاجة إلى تفاصيل إضافية، فلا تتردد في الاتصال بنا.

هاتف الاتصال رقم +86-13567891907

البريد الإلكتروني: sales@semicorex.com