ما هو مستقبل الجرافيت المطلي بـ SiC؟

من أجل التعريف بجهاز استقبال الجرافيت المطلي بـ كربيد كربيد، من المهم أن نفهم تطبيقه. عند تصنيع الأجهزة، يلزم بناء المزيد من الطبقات الفوقية على بعض ركائز الرقاقة. على سبيل المثال، تتطلب الأجهزة الباعثة للضوء LED إعداد طبقات GaAs الفوقي على ركائز السيليكون؛ في حين أن هناك حاجة إلى نمو طبقة SiC على ركائز SiC، فإن الطبقة الفوقية تساعد في بناء أجهزة لتطبيقات الطاقة مثل الجهد العالي والتيار العالي، على سبيل المثال SBD، MOSFET، إلخ. وعلى العكس من ذلك، يتم إنشاء الطبقة الفوقية GaN على SiC شبه العازلة الركيزة لمواصلة بناء الأجهزة مثل HEMT لتطبيقات الترددات الراديوية مثل الاتصالات. للقيام بذلك، أمعدات الأمراض القلبية الوعائية(من بين الطرق التقنية الأخرى) مطلوب. يمكن لهذه المعدات ترسيب عناصر المجموعة III وII وعناصر المجموعة V وVI كمواد مصدر للنمو على سطح الركيزة.

فيمعدات الأمراض القلبية الوعائية، لا يمكن وضع الركيزة مباشرة على المعدن أو وضعها ببساطة على قاعدة للترسيب الفوقي. وذلك لأن اتجاه تدفق الغاز (أفقي، عمودي)، ودرجة الحرارة، والضغط، والتثبيت، وتساقط الملوثات، وما إلى ذلك، كلها عوامل يمكن أن تؤثر على العملية. لذلك، هناك حاجة إلى مُستقبل حيث يتم وضع الركيزة على القرص، ومن ثم يتم استخدام تقنية CVD لإجراء الترسيب الفوقي على الركيزة. هذا المستقبِل عبارة عن مستقبِل من الجرافيت مطلي بطبقة SiC (يُعرف أيضًا باسم الدرج).

الجهاز استقبال الجرافيتهو عنصر حاسم فيمعدات MOCVD. إنه بمثابة الناقل وعنصر التسخين للركيزة. يعد الاستقرار الحراري والتوحيد ومعلمات الأداء الأخرى من العوامل المهمة التي تحدد جودة نمو المواد الفوقي، وتؤثر بشكل مباشر على توحيد ونقاء مادة الغشاء الرقيق. ولذلك فإن نوعيةجهاز استقبال الجرافيتأمر حيوي في إعداد الرقائق الفوقي. ومع ذلك، نظرًا للطبيعة الاستهلاكية للمستقبل وظروف العمل المتغيرة، فإنه يتم فقده بسهولة.

يتمتع الجرافيت بموصلية حرارية وثبات ممتازين، مما يجعله مكونًا أساسيًا مثاليًامعدات MOCVD. ومع ذلك، يواجه الجرافيت النقي بعض التحديات. أثناء الإنتاج، يمكن أن تتسبب الغازات المسببة للتآكل المتبقية والمواد العضوية المعدنية في تآكل القابل للتآكل وإخراج المسحوق، وبالتالي تقليل عمر الخدمة بشكل كبير. بالإضافة إلى ذلك، يمكن أن يسبب مسحوق الجرافيت المتساقط تلوثًا للرقاقة. وبالتالي، يجب حل هذه المشاكل أثناء عملية إعداد القاعدة.

تقنية الطلاء هي عملية يمكن استخدامها لتثبيت المسحوق على الأسطح وتعزيز التوصيل الحراري وتوزيع الحرارة بالتساوي. أصبحت هذه التكنولوجيا هي الطريقة الأساسية لحل هذه المشكلة. اعتمادًا على بيئة التطبيق ومتطلبات الاستخدام لقاعدة الجرافيت، يجب أن يتمتع طلاء السطح بالخصائص التالية:

1. كثافة عالية وتغليف كامل: قاعدة الجرافيت موجودة في بيئة عمل عالية الحرارة ومسببة للتآكل، ويجب تغطية السطح بالكامل. يجب أن يتمتع الطلاء أيضًا بكثافة جيدة لتوفير حماية جيدة.

2. التسطيح الجيد للسطح: نظرًا لأن قاعدة الجرافيت المستخدمة لنمو البلورة المفردة تتطلب تسطيحًا عاليًا للسطح، فيجب الحفاظ على التسطيح الأصلي للقاعدة بعد تحضير الطلاء. هذا يعني أن سطح الطلاء يجب أن يكون موحدًا.

3. قوة ربط جيدة: إن تقليل الفرق في معامل التمدد الحراري بين قاعدة الجرافيت ومواد الطلاء يمكن أن يحسن بشكل فعال قوة الترابط بين الاثنين. بعد تجربة الدورات الحرارية العالية والمنخفضة، فإن الطلاء ليس من السهل أن يتشقق.

4. الموصلية الحرارية العالية: يتطلب نمو الرقائق عالي الجودة حرارة سريعة وموحدة من قاعدة الجرافيت. لذلك، يجب أن تكون مادة الطلاء ذات موصلية حرارية عالية.

5. نقطة انصهار عالية، مقاومة درجات الحرارة العالية للأكسدة، ومقاومة التآكل: يجب أن يكون الطلاء قادرًا على العمل بثبات في بيئات العمل ذات درجات الحرارة العالية والتآكل.

في الوقت الحالي،كربيد السيليكون (SiC)هي المادة المفضلة لطلاء الجرافيت، نظرًا لأدائها الاستثنائي في بيئات درجات الحرارة العالية والغازات المسببة للتآكل. علاوة على ذلك، فإن معامل التمدد الحراري القريب من الجرافيت يمكّنها من تكوين روابط قوية. بالإضافة إلى ذلك،طلاء كربيد التنتالوم (TaC).يعد أيضًا خيارًا جيدًا، ويمكنه الوقوف في بيئات ذات درجة حرارة عالية (> 2000 درجة مئوية).

تقدم Semicorex جودة عاليةكربيد كربيدوTaC المغلفة بحساسية الجرافيت. إذا كانت لديك أي استفسارات أو كنت بحاجة إلى تفاصيل إضافية، فلا تتردد في الاتصال بنا.

هاتف الاتصال رقم +86-13567891907

البريد الإلكتروني: sales@semicorex.com