الدور الحاسم للطبقات الفوقي في أجهزة أشباه الموصلات

1. سبب ظهوره

في مجال تصنيع أجهزة أشباه الموصلات، فإن البحث عن المواد التي يمكنها تلبية المتطلبات المتطورة يمثل تحديات مستمرة. وبحلول نهاية عام 1959، تم تطوير الطبقة الرقيقةأحادي البلوريةمادةتقنيات النمو المعروفة باسمتنضيد، ظهرت كحل محوري. ولكن كيف ساهمت التكنولوجيا الفوقي بالضبط في التقدم المادي، وخاصة بالنسبة للسيليكون؟ في البداية، واجه تصنيع ترانزستورات السيليكون عالية التردد وعالية الطاقة عقبات كبيرة. من وجهة نظر مبادئ الترانزستور، فإن تحقيق التردد العالي والطاقة العالية يتطلب جهد انهيار عالي في منطقة المجمع والحد الأدنى من المقاومة التسلسلية، مما يترجم إلى انخفاض انخفاض جهد التشبع.

قدمت هذه المتطلبات مفارقة: الحاجة إلى مواد ذات مقاومة عالية في منطقة المجمع لزيادة جهد الانهيار، مقابل الحاجة إلى مواد ذات مقاومة منخفضة لتقليل مقاومة السلسلة. يؤدي تقليل سمك مادة منطقة المجمع لتقليل مقاومة السلسلة إلى المخاطرة بجعلرقاقة السيليكونهشة للغاية للمعالجة. وعلى العكس من ذلك، فإن خفض مقاومة المادة يتعارض مع الشرط الأول. قدوميأكلمحورlلقد نجحت التكنولوجيا في التغلب على هذه المعضلة.

2. الحل

تضمن الحل تنمية طبقة فوقية عالية المقاومة على طبقة منخفضة المقاومةالمادة المتفاعلة. تصنيع الجهاز علىالطبقة الفوقيةيضمن جهد انهيار عالي بفضل مقاومته العالية، في حين أن الركيزة ذات المقاومة المنخفضة تقلل من مقاومة القاعدة، وبالتالي تقلل من انخفاض جهد التشبع. وقد نجح هذا النهج في التوفيق بين التناقضات المتأصلة. بالإضافة إلى،الفوقيالتقنيات، بما في ذلك مرحلة البخار، المرحلة السائلةتنضيدبالنسبة لمواد مثل GaAs، وغيرها من أشباه الموصلات المركبة الجزيئية من المجموعة III-V، II-VI، فقد تقدمت بشكل ملحوظ. أصبحت هذه التقنيات لا غنى عنها لتصنيع معظم أجهزة الميكروويف، والأجهزة الإلكترونية البصرية، وأجهزة الطاقة، وأكثر من ذلك. والجدير بالذكر أن نجاح الشعاع الجزيئي وعضوي معدنيج- طور البخارفي تطبيقات مثل الأغشية الرقيقة، والشبكات الفائقة، والآبار الكمومية، والشبكات الفائقة المتوترة، والطبقة الذريةيأكلaxyلقد أرسى أساسًا متينًا لمجال البحث الجديد المتمثل في "هندسة فجوة النطاق".

3. سبع قدرات رئيسيةالتكنولوجيا الفوقي

(1) القدرة على نمو مقاومة عالية (منخفضة).الطبقات الفوقيةعلى ركائز منخفضة (عالية) المقاومة.

(2) القدرة على النمو من النوع N §الطبقات الفوقيةعلى ركائز من النوع P (N)، وتشكيل وصلات PN مباشرة دون مشكلات التعويض المرتبطة بطرق الانتشار.

(3) التكامل مع تكنولوجيا القناع للنمو بشكل انتقائيالطبقات الفوقيةفي مناطق محددة، مما يمهد الطريق لإنتاج دوائر وأجهزة متكاملة ذات هياكل فريدة.

(4) المرونة في تغيير نوع وتركيز المنشطات أثناء عملية النمو، مع إمكانية حدوث تغييرات مفاجئة أو تدريجية في التركيز.

(5) إمكانية تنمية الوصلات غير المتجانسة، والطبقات المتعددة، والطبقات الرقيقة للغاية ذات التركيب المتغير.

(6) القدرة على النموالطبقات الفوقيةتحت نقطة انصهار المادة، مع معدلات نمو يمكن التحكم فيها، مما يتيح دقة سمك المستوى الذري.

(7) جدوى زراعة طبقات أحادية البلورة من المواد التي يصعب سحبها، مثلالجاليوموالمركبات الثلاثية أو الرباعية.

المضمون،الطبقة الفوقيةsتوفر بنية بلورية أكثر قابلية للتحكم والكمال مقارنة بالمواد الأساسية، مما يفيد بشكل كبير تطبيق المواد وتطويرها.**

تقدم Semicorex ركائز عالية الجودة ورقائق الفوقي. إذا كانت لديك أي استفسارات أو كنت بحاجة إلى تفاصيل إضافية، فلا تتردد في الاتصال بنا.

هاتف الاتصال رقم +86-13567891907

البريد الإلكتروني: sales@semicorex.com