ما هو قارب SiC، وما هي عمليات التصنيع المختلفة؟

1. عمليات التصنيع المختلفةقارب كربيد السيليكون

(1) طلاء طبقة منفيلم سيكعلى سطح الجرافيتقوارب الكريستالمن خلال الأمراض القلبية الوعائية

يحتوي هذا النوع من القوارب على قلب من الجرافيت، والذي يتم تشكيله في قطعة واحدة. لكن،الجرافيت مساميوعرضة لتوليد الجسيمات، مما يستلزم تطبيق أطلاء فيلم سيكعلى سطحه. بسبب عدم التطابق في معامل التمدد الحراري (CTE) بين جسم الجرافيت والجسمفيلم سيكمن المحتمل أن يتقشر الطلاء بعد دورات تسخين وتبريد متعددة، مما يؤدي إلى تلوث الجسيمات. هذه القوارب هي الأقل تكلفة ويبلغ عمرها الافتراضي حوالي عام واحد.

(2) طلاء طبقة منفيلم سيكعلى إعادة بلورتهاقوارب كريستال SiC

إعادة بلورتهاقوارب كربيد السيليكونكما أنها مسامية ويمكن أن تولد جزيئات بسهولة. ولذلك، فإن المكونات الفردية للإعادة بلورتهاقوارب كربيد السيليكونيجب أن يتم تشكيلها مسبقًا، وتكلسها، ثم تشكيلها بشكل منفصل. بعد ذلك، يتم ربط المكونات معًا عند درجات حرارة عالية باستخدام معجون Si. بمجرد تجميعها في قارب واحد، أفيلم سيكيتم تطبيقه من خلال الأمراض القلبية الوعائية. تمت إعادة بلورتهاقارب كربيد السيليكونلديه أطول عملية تصنيع ومكلفة، ولكن السطحطلاء الأمراض القلبية الوعائيةيمكن أيضًا أن تتضرر، مع عمر يصل إلى حوالي ثلاث سنوات.

(3)المتجانسةقوارب كريستال SiC

هؤلاءقواربتتكون بالكامل من مادة SiC. يجب أن يتم تشكيل مسحوق SiC وتلبيده على شكل قارب متجانس. فهي مكلفة للغاية، كما أنها متينة للغاية وأقل احتمالية لتوليد جزيئات. إلا أن هذه القوارب تحتوي على 10-15% من السيليكون الحر، وهو عرضة للتآكل بفعل الفلور والكلور، مما يؤدي إلى تلوثه بالجزيئات.

2. لماذا لا ينصح بالتنظيف الجاف؟

باختصار، لقوارب كربيد السيليكونمغلفة بفيلم SiC من خلال الأمراض القلبية الوعائية، طلاء السطح عرضة للتقشير أثناء التنظيف الجاف، مما يسبب تلوث الجسيمات. متجانسةقوارب كربيد السيليكونالتي تحتوي على كمية صغيرة من السيليكون الحر، فإن التعرض للغازات التي تحتوي على الفلور أو الكلور يمكن أن يؤدي إلى تآكلها وتوليد الجسيمات، وبالتالي التسبب في التلوث.**