تكنولوجيا رقاقة كربيد السيليكون

كربيد السيليكونيستخدم بشكل عام طريقة PVT، مع درجة حرارة تزيد عن 2000 درجة، ودورة معالجة طويلة، وإنتاج منخفض، وبالتالي فإن تكلفة ركائز كربيد السيليكون مرتفعة جدًا. إن العملية الفوقية لكربيد السيليكون هي في الأساس نفس عملية السيليكون، باستثناء تصميم درجة الحرارة والتصميم الهيكلي للمعدات. من حيث إعداد الجهاز، نظرًا لخصوصية المادة، تختلف عملية الجهاز عن السيليكون من حيث أنها تستخدم عمليات ذات درجة حرارة عالية، بما في ذلك زرع الأيونات ذات درجة الحرارة العالية، والأكسدة ذات درجة الحرارة العالية، وعمليات التلدين ذات درجة الحرارة العالية.

إذا كنت ترغب في تعظيم خصائصكربيد السيليكونفي حد ذاته، فإن الحل الأمثل هو تنمية طبقة الفوقي على ركيزة بلورية واحدة من كربيد السيليكون. تشير الرقاقة الفوقية من كربيد السيليكون إلى رقاقة من كربيد السيليكون يتم فيها زراعة طبقة رقيقة بلورية واحدة (طبقة الفوقي) مع متطلبات معينة ونفس البلورة مثل الركيزة على ركيزة من كربيد السيليكون.

هناك أربع شركات كبرى في السوق للمعدات الرئيسيةمواد كربيد السيليكون الفوقي:

[1]اكسترونفي ألمانيا: تتميز بقدرة إنتاجية كبيرة نسبياً؛

[2]LPEوفي إيطاليا، وهو حاسوب صغير ذو شريحة واحدة بمعدل نمو مرتفع للغاية؛

[3]هاتفونوفلاريفي اليابان، معداتها باهظة الثمن، وثانيًا، التجويف المزدوج، الذي له تأثير معين على زيادة الإنتاج. ومن بينها جهاز Nuflare وهو جهاز مميز جدًا تم إطلاقه في السنوات الأخيرة. يمكن أن تدور بسرعة عالية تصل إلى 1000 دورة في الدقيقة، وهو أمر مفيد جدًا لتوحيد النفوق. في نفس الوقت، اتجاه تدفق الهواء الخاص به يختلف عن المعدات الأخرى، وهو عموديًا إلى الأسفل، لذلك يمكنه تجنب توليد بعض الجسيمات وتقليل احتمالية التقطير على الرقاقة.

من منظور طبقة التطبيقات الطرفية، تتمتع مواد كربيد السيليكون بمجموعة واسعة من التطبيقات في السكك الحديدية عالية السرعة، وإلكترونيات السيارات، والشبكة الذكية، والعاكس الكهروضوئي، والكهروميكانيكية الصناعية، ومركز البيانات، والسلع البيضاء، والإلكترونيات الاستهلاكية، واتصالات 5G، والتقنيات التالية: عرض الجيل وغيرها من المجالات، وإمكانات السوق ضخمة.

تقدم Semicorex جودة عاليةأجزاء طلاء CVD SiCللنمو الفوقي SiC. إذا كانت لديك أي استفسارات أو كنت بحاجة إلى تفاصيل إضافية، فلا تتردد في الاتصال بنا.

هاتف الاتصال رقم +86-13567891907

البريد الإلكتروني: sales@semicorex.com