MOCVD هي المعدات الرئيسية

معدات MOCVD هي المعدات الرئيسية في عملية الإنتاج لصناعة أشباه الموصلات ، ولكن أيضًا نسبة كبيرة من استثمار المعدات في سلسلة صناعة أشباه الموصلات (ثلاث عمليات ومعدات أساسية: الطباعة الحجرية ، الحفر ، ترسيب الأغشية الرقيقة) ، استثمار خط إنتاج LED ، MOCVD يمكن أن يمثل مبلغ الاستثمار ما يصل إلى 50٪. في معدات CVD ، لا يمكن وضع الركيزة مباشرة على المعدن أو وضعها ببساطة فوق قاعدة للترسيب فوق المحور ، لأنها تنطوي على تأثير عوامل مختلفة مثل اتجاه تدفق الغاز (أفقيًا ، رأسيًا) ، ودرجة الحرارة ، والضغط ، والتثبيت ، التخلص من الملوثات. لذلك ، يتم استخدام القاعدة ويتم وضع الركيزة على قرص ثم يتم إجراء الترسيب فوق المحور فوق الركيزة باستخدام تقنية CVD. هذه القاعدة هي الجرافيت المطلي بـ SiCالمستجيب(والتي يمكن أن تسمى أيضًا أالناقل) ، ويظهر هيكلها في الشكل أدناه.