تلميع سطح رقائق السيليكون

رقاقة السيليكونيعد تلميع السطح عملية حاسمة في تصنيع أشباه الموصلات. هدفها الأساسي هو تحقيق معايير عالية للغاية من تسطيح وخشونة السطح عن طريق إزالة العيوب الدقيقة وطبقات الضرر الناتج عن الإجهاد والتلوث الناتج عن الشوائب مثل الأيونات المعدنية. وهذا يضمن أنرقائق السيليكونتلبية متطلبات الإعداد للأجهزة الإلكترونية الدقيقة، بما في ذلك الدوائر المتكاملة (ICs).

لضمان دقة التلميع،رقاقة السيليكونيمكن تنظيم عملية التلميع في خطوتين أو ثلاث أو حتى أربع خطوات متميزة. تستخدم كل خطوة ظروف معالجة مختلفة، بما في ذلك الضغط، وتكوين سائل التلميع، وحجم الجسيمات، والتركيز، وقيمة الرقم الهيدروجيني، ومواد قماش التلميع، والبنية، والصلابة، ودرجة الحرارة، وحجم المعالجة.

المراحل العامة للرقاقة السيليكونالتلميع هي كما يلي:

1. **التلميع الخشن**: تهدف هذه المرحلة إلى إزالة طبقة تلف الإجهاد الميكانيكي المتبقية على السطح من المعالجة السابقة، مما يحقق دقة الأبعاد الهندسية المطلوبة. يتجاوز حجم المعالجة للتلميع الخشن عادة 15-20μm.

2. **التلميع الدقيق**: في هذه المرحلة، يتم تقليل التسطيح والخشونة المحلية لسطح رقاقة السيليكون لضمان جودة السطح العالية. يبلغ حجم المعالجة للتلميع الدقيق حوالي 5-8μm.

3. **"إزالة الضباب" التلميع الدقيق**: تركز هذه الخطوة على إزالة العيوب السطحية الصغيرة وتحسين خصائص التشكل النانوي للرقاقة. تبلغ كمية المواد التي تمت إزالتها خلال هذه العملية حوالي 1 ميكرومتر.

4. **التلميع النهائي**: بالنسبة لعمليات شرائح IC ذات متطلبات عرض الخط الصارمة للغاية (مثل الرقائق الأصغر من 0.13 ميكرومتر أو 28 نانومتر)، تعد خطوة التلميع النهائية ضرورية بعد التلميع الدقيق والتلميع الدقيق "إزالة الضباب". وهذا يضمن أن رقاقة السيليكون تحقق دقة تصنيع استثنائية وخصائص سطحية نانوية.

من المهم ملاحظة أن التلميع الميكانيكي الكيميائي (CMP) للرقاقة السيليكونيختلف السطح عن تقنية CMP المستخدمة لتسطيح سطح الرقاقة في تحضير IC. في حين أن كلتا الطريقتين تتضمنان مزيجًا من التلميع الكيميائي والميكانيكي، إلا أن ظروفهما وأغراضهما وتطبيقاتهما تختلف بشكل كبير.

عروض سيميكوركسرقائق عالية الجودة. إذا كانت لديك أي استفسارات أو كنت بحاجة إلى تفاصيل إضافية، فلا تتردد في الاتصال بنا.

هاتف الاتصال رقم +86-13567891907

البريد الإلكتروني: sales@semicorex.com