لماذا تختار حساسات الجرافيت المطلية بـ SiC؟

حساس الجرافيتأحد الأجزاء الأساسية في معدات MOCVD ، هو الناقل والسخان لركيزة الرقاقة. تلعب خصائص الثبات الحراري والتوحيد الحراري دورًا حاسمًا في جودة نمو الويفر الفوقي ، والذي يحدد بشكل مباشر تناسق ونقاء مواد الطبقة ، ونتيجة لذلك تؤثر جودتها بشكل مباشر على تحضير التصلب. في غضون ذلك ، مع زيادة عدد الاستخدامات والتغيرات في ظروف العمل ، من السهل جدًا أن تفقد ، وتنتمي إلى المواد الاستهلاكية. الموصلية الحرارية الممتازة للجرافيت واستقرارها تجعلها ميزة جيدة مثلمكون أساسي لمعدات MOCVD. ومع ذلك ، إذا تم استخدام الجرافيت النقي فقط ، فسيواجه بعض المشكلات. سيكون هناك غاز تآكل وبقايا عضوية معدنية في عملية الإنتاج ، وسوف تتآكل قاعدة الجرافيت وتسقط المسحوق ، مما يقلل بشكل كبير من عمر خدمةحساس الجرافيت، كما أن مسحوق الجرافيت المتساقط سوف يتسبب أيضًا في تلوث الشريحة ، لذلك في عملية تحضير القاعدة أيضًا ، يجب حل هذه المشكلات أثناء تحضير القاعدة. يمكن أن توفر تقنية الطلاء تثبيت مسحوق السطح ، وتعزيز التوصيل الحراري ، ومعادلة التوزيع الحراري ، والتي تصبح التكنولوجيا الرئيسية لحل هذه المشكلة. التكنولوجيا الرئيسية هي حل هذه المشكلة. حسب بيئة التطبيق ومتطلباتحساسات الجرافيت، يجب أن يكون لطلاء السطح الخصائص التالية.

كثافات عالية وتغليف كامل: قاعدة الجرافيت ككل في درجة حرارة عالية وبيئة عمل تآكل ، يجب أن يكون السطح ملفوفًا بالكامل ، بينما يجب أن يكون للطلاء كثافات جيدة للعب دور وقائي جيد.

التسطيح الجيد للسطح: نظرًا لأن قاعدة الجرافيت المستخدمة لنمو بلورة مفردة تتطلب تسطيحًا عاليًا للسطح ، يجب الحفاظ على التسطيح الأصلي للقاعدة بعد تحضير الطلاء ، أي يجب أن يكون سطح الطلاء موحدًا.

قوة الترابط الجيدة: يمكن أن يؤدي تقليل فرق معامل التمدد الحراري بين قاعدة الجرافيت ومواد الطلاء إلى تحسين قوة الترابط بينهما بشكل فعال ، وليس من السهل تكسير الطلاء بعد دورات حرارية عالية ومنخفضة الحرارة.

الموصلية الحرارية العالية: يتطلب نمو الرقاقة عالي الجودة حرارة سريعة وموحدة من قاعدة الجرافيت ، لذلك يجب أن تتمتع مادة الطلاء بموصلية حرارية عالية.

نقطة انصهار عالية ، أكسدة بدرجة حرارة عالية ومقاومة للتآكل: يجب أن يكون الطلاء قادرًا على العمل بثبات في درجات الحرارة العالية وبيئات العمل المسببة للتآكل.