معلمات عملية النقش

النقشهي خطوة حاسمة في تصنيع الرقائق، وتستخدم لإنشاء هياكل دوائر دقيقة على رقائق السيليكون. أنها تنطوي على إزالة طبقات المواد من خلال الوسائل الكيميائية أو الفيزيائية لتلبية متطلبات التصميم المحددة. ستقدم هذه المقالة العديد من معلمات النقش الرئيسية، بما في ذلك النقش غير المكتمل، والإفراط في النقش، ومعدل النقش، والتقطيع، والانتقائية، والتوحيد، ونسبة العرض إلى الارتفاع، والنقش المتناحي/متباين الخواص.

ما هو غير مكتملالنقش?

يحدث النقش غير المكتمل عندما لا تتم إزالة المادة الموجودة في المنطقة المخصصة بالكامل أثناء عملية النقش، مما يؤدي إلى ترك طبقات متبقية في الثقوب المنقوشة أو على الأسطح. يمكن أن تنشأ هذه الحالة من عوامل مختلفة، مثل عدم كفاية وقت النقش أو سمك الفيلم غير المتساوي.

زيادة-النقش

لضمان الإزالة الكاملة لجميع المواد الضرورية ومراعاة الاختلافات في سمك الطبقة السطحية، عادةً ما يتم دمج قدر معين من النقش الزائد في التصميم. وهذا يعني أن عمق الحفر الفعلي يتجاوز القيمة المستهدفة. يعد النقش الزائد المناسب أمرًا ضروريًا للتنفيذ الناجح للعمليات اللاحقة.

حفرمعدل

يشير معدل الحفر إلى سمك المادة التي تمت إزالتها لكل وحدة زمنية وهو مؤشر حاسم لكفاءة الحفر. إحدى الظواهر الشائعة هي تأثير التحميل، حيث يؤدي عدم كفاية البلازما التفاعلية إلى انخفاض معدلات الحفر أو التوزيع غير المتساوي للحفر. ويمكن تحسين ذلك عن طريق ضبط ظروف العملية مثل الضغط والطاقة.

تقويض

يحدث التقويض عندماالنقشلا يحدث ذلك في المنطقة المستهدفة فحسب، بل يمتد أيضًا إلى الأسفل على طول حواف مقاوم الضوء. يمكن أن تسبب هذه الظاهرة جدرانًا جانبية مائلة، مما يؤثر على دقة أبعاد الجهاز. يساعد التحكم في تدفق الغاز ووقت الحفر على تقليل حدوث التقويض.

الانتقائية

الانتقائية هي نسبةحفرالمعدلات بين مادتين مختلفتين تحت نفس الظروف. تتيح الانتقائية العالية تحكمًا أكثر دقة في الأجزاء المحفورة والأجزاء التي يتم الاحتفاظ بها، وهو أمر بالغ الأهمية لإنشاء هياكل معقدة متعددة الطبقات.

التوحيد

يقيس التوحيد اتساق تأثيرات الحفر عبر الرقاقة بأكملها أو بين الدُفعات. يضمن التوحيد الجيد أن كل شريحة لها خصائص كهربائية مماثلة.

نسبة الارتفاع

يتم تعريف نسبة العرض إلى الارتفاع على أنها نسبة ارتفاع الميزة إلى العرض. مع تطور التكنولوجيا، هناك طلب متزايد على نسب أبعاد أعلى لجعل الأجهزة أكثر إحكاما وكفاءة. ومع ذلك، فإن هذا يمثل تحديات لالنقشحيث يتطلب الحفاظ على الوضع العمودي مع تجنب التآكل المفرط في القاع.

كيف الخواص متباينة الخواصالنقشهل تختلف؟

الخواصالنقشيحدث بشكل موحد في جميع الاتجاهات ومناسب لبعض التطبيقات المحددة. في المقابل، يتقدم النقش متباين الخواص بشكل أساسي في الاتجاه الرأسي، مما يجعله مثاليًا لإنشاء هياكل دقيقة ثلاثية الأبعاد. غالبًا ما يفضل تصنيع الدوائر المتكاملة الحديثة الخيار الأخير للتحكم بشكل أفضل في الشكل.

تقدم Semicorex حلول SiC/TaC عالية الجودة لأشباه الموصلاتالنقش ICP/PSS والنقش بالبلازماعملية. إذا كانت لديك أي استفسارات أو كنت بحاجة إلى تفاصيل إضافية، فلا تتردد في الاتصال بنا.

هاتف الاتصال رقم +86-13567891907

البريد الإلكتروني: sales@semicorex.com