مقدمة موجزة للرقائق الوهمية

يتكون التصنيع المتقدم لأشباه الموصلات من عدة خطوات عملية، بما في ذلك ترسيب الأغشية الرقيقة، والطباعة الحجرية الضوئية، والحفر، وزرع الأيونات، والتلميع الميكانيكي الكيميائي. خلال هذه العملية، حتى العيوب الصغيرة في العملية قد يكون لها تأثير ضار على أداء وموثوقية رقائق أشباه الموصلات النهائية. لذلك، يعد الحفاظ على استقرار العملية واتساقها تحديًا كبيرًا، بالإضافة إلى إجراء مراقبة فعالة للمعدات. تعتبر الرقائق الوهمية أدوات مهمة تساعد في مواجهة هذه التحديات.

الرقائق الوهمية هي رقائق لا تحمل دوائر فعلية ولا يتم استخدامها في عملية إنتاج الرقائق النهائية. هؤلاءرقائقيمكن أن تكون رقائق اختبار جديدة تمامًا أو منخفضة الجودة أو رقائق مستصلحة. تختلف عن رقائق المنتجات باهظة الثمن المستخدمة في تصنيع الدوائر المتكاملة، فهي تستخدم عادةً في العديد من المنتجات غير المتعلقة بالإنتاج والتي تعتبر ضرورية لإنتاج أشباه الموصلات.

تطبيقات الرقائق الوهمية

1. عملية التأهيل والضبط

تُستخدم الرقائق الوهمية بشكل شائع للاختبار قبل هذه المواقف لضمان استقرار العملية وامتثال أداء المعدات، مثل قبل تشغيل معدات العمليات الجديدة، وبعد الصيانة أو استبدال مكونات المعدات الموجودة، وأثناء تطوير وصفات العمليات الجديدة. يمكن إكمال التحقق من أداء المعدات والضبط الدقيق لمعلمات العملية بنجاح من خلال تحليل نتائج المعالجة على الرقائق الوهمية، مما يقلل بشكل فعال من فقدان رقائق المنتج ويقلل من تكاليف الإنتاج للمؤسسات.

2. تكييف المعدات والإحماء

إن بيئة الغرفة للعديد من معدات معالجة أشباه الموصلات (على سبيل المثال، معدات ترسيب البخار الكيميائي (CVD)، ومعدات ترسيب البخار الفيزيائي (PVD)، وآلات الحفر) لها تأثير كبير على نتائج المعالجة. على سبيل المثال، يجب أن تصل حالة الطلاء وتوزيع درجة الحرارة على الجدران الداخلية للغرفة إلى حالة مستقرة. غالبًا ما تُستخدم الرقائق الوهمية لتكييف غرف المعالجة وتحقيق الاستقرار في البيئة الداخلية (على سبيل المثال، درجة الحرارة، والجو الكيميائي، وحالة السطح) للغرف، مما يمنع بشكل فعال انحرافات العملية أو العيوب في الدفعة الأولى من رقائق المنتج الناتجة عن عدم تشغيل المعدات في حالتها المثالية.

3. مراقبة الجسيمات والتحكم في التلوث

يتطلب تصنيع أشباه الموصلات متطلبات نظافة عالية للغاية؛ حتى التلوث بالجسيمات الصغيرة يمكن أن يؤدي إلى فشل الشريحة. من خلال فحص الجزيئات الملتصقة بسطح الرقائق الوهمية التي يتم تغذيتها في المعدات، يمكن تقييم نظافة المعدات. وبالتالي، يمكن حماية رقائق المنتج بنجاح من التلوث عن طريق تحديد مصادر التلوث المحتملة على الفور ووضع إجراءات التنظيف أو الصيانة موضع التنفيذ.

4. ملء الفتحة لتوحيد الدفعة

لتحقيق تدفق الغاز، وتوزيع درجة الحرارة، وتركيز المادة المتفاعلة في غرفة المعالجة، فإن عملية التحميل الكامل هي ممارسة شائعة في معدات المعالجة الدفعية مثل أفران الانتشار، أفران الأكسدة، أو خزانات التنظيف الرطب. يتم استخدام الرقائق الوهمية لملء الفتحات الفارغة في قارب الرقاقة التي لا تحتوي على عدد كافٍ من رقائق المنتج، مما يمكن أن يقلل من تأثير الحافة ويضمن ظروف معالجة متسقة لجميع رقائق المنتج، خاصة تلك الموجودة على حواف قارب الرقاقة.

5. استقرار عمليات التلميع الميكانيكي الكيميائي (CMP).

يمكن أيضًا استخدام الرقائق الوهمية في مرحلة ما قبل المعالجة لعملية CMP للحفاظ على استقرار العملية. يعمل الاختبار المسبق للرقائق الوهمية على تحسين خشونة ومسامية وسادة التلميع، ويقلل من عدم اليقين في العملية أثناء مرحلة تثبيت بدء التشغيل أو المرحلة الانتقالية قبل إيقاف التشغيل، كما يقلل من خدوش الرقاقة والعيوب الناجمة عن إمداد الملاط غير الطبيعي وتآكل غشاء الرأس.

تقدم Semicorex فعالية من حيث التكلفةرقائق وهمية كربيد السيليكون. إذا كانت لديك أي استفسارات أو كنت بحاجة إلى تفاصيل إضافية، فلا تتردد في الاتصال بنا.

هاتف الاتصال رقم +86-13567891907

البريد الإلكتروني: sales@semicorex.com