الاختلافات الهيكلية بين أنواع مختلفة من المفاعلات

بناءً على تكوين غرفة التفاعل، تنقسم معدات المعالجة الحرارية (معدات أنبوب الفرن) بشكل أساسي إلى ثلاث فئات: أنابيب الفرن العمودية، وأنابيب الفرن الأفقية، وأفران المعالجة الحرارية السريعة (RTP).

تحتوي أنابيب الفرن العمودية على أنابيب كوارتز مرتبة عموديًا، مع وضع الرقائق حول الأنابيب للتسخين. وتتمثل مزاياها الرئيسية في التوزيع الموحد لدرجة الحرارة، والتحكم الدقيق في الجو، والأتمتة العالية، والتلوث الأقل بالجسيمات، والبصمة الصغيرة، ودعم معالجة الدفعات (مناسبة بشكل خاص للرقائق مقاس 12 بوصة)، مما يجعلها المعدات الرئيسية المتاحة حاليًا. وصل حجم السوق العالمية إلى 3.2 مليار دولار في عام 2024 (بيانات SEMI). تشمل عيوبها سهولة فصل الغاز عن السائل، والتدفق الهبوطي للوسيط مما قد يتسبب في احتراق أنبوب الفرن.

تحتوي أنابيب الفرن الأفقية على أنابيب كوارتز موضوعة أفقيًا، وتعالج 100-200 رقاقة في المرة الواحدة. وتشمل مزاياها التدفق الموحد للغاز والسائل داخل أنبوب الفرن والتحكم الأكثر دقة في درجة الحرارة. تشمل عيوبها مساحة أكبر واستهلاكًا أعلى لدعامات الأنابيب الوسيطة المصنوعة من الفولاذ عالي السبائك. من الناحية الهيكلية، تضع أنابيب الفرن الأفقية الرقاقات عموديًا داخل الأنابيب الأفقية للمعالجة.

تستخدم أفران التلدين الحراري السريع (RTP) مصابيح الهالوجين تحت الحمراء لتسخين الرقاقات المفردة بسرعة، مما يوفر معدلات تسخين وتبريد سريعة تغير درجة حرارة الرقاقة فقط دون تغيير درجة حرارة الغرفة. إنها مناسبة للتليين السريع بكميات صغيرة ولكن ليس للإنتاج الضخم.

في معالجة الرقاقات، تضع أنابيب الفرن الأفقية الرقاقة على قارب كوارتز، والذي بدوره يستقر على إطار دعم من كربيد السيليكون (SiC). يتم بعد ذلك دفع إطار الدعم إلى أنبوب فرن الكوارتز، حيث تخضع الرقاقة للتفاعل في منطقة ذات درجة حرارة ثابتة. من ناحية أخرى، تضع أنابيب الفرن العمودية الرقاقة على برج الكوارتز وترفعها ببطء إلى أنبوب فرن الكوارتز للمعالجة. بعد التفاعل، يتم خفض الرقاقة ببطء لمنع الانحناء أو الكسر.

توفر Semicorex جودة عالية حسب الطلبمفاعل فرن الكوارتز. تم تصميم منتجاتنا لتوفير ثبات حراري فائق وعمر خدمة ممتد واتساق استثنائي للعملية. للحصول على حلول مخصصة أو معلومات فنية إضافية، فلا تتردد في الاتصال بفريقنا الهندسي.

الهاتف: +86-13567891907

البريد الإلكتروني: sales@semicorex.com